本膜厚測量儀適用于nm及um級薄膜厚度測量,測量的空間分辨率(測量點(diǎn)的大?。┛蛇_(dá)10um,厚度測量準(zhǔn)確度為nm級。
此款膜厚測量儀適用于:
顯示器、觸摸屏、太陽能電池、R2R 光學(xué)鍍膜等產(chǎn)業(yè)的薄膜厚度測量
光學(xué)材料參數(shù)測量、彩色濾光片色度及穿透率測量。(如:Oxide, Nitride,
ITO, RGB CF, PR, PI…@ Si, Glass, PET…等樣品)
技術(shù)參數(shù):
1.厚度測量范圍:10 nm ~ 30 μm (采用Ocean Optics 光譜儀)
(Optional: up to 250 μm)
2.厚度測量重復(fù)性:< 1 nm @ 500 nm Oxide on Si
3.測量點(diǎn)大小 : Macro(~3 mm)
(Optional 選項(xiàng)加顯微鏡 : 10 μm – 3 mm)
4.測量時(shí)間:< 1 sec
5.其它功能:折射率(n)及消光系數(shù)(k)測量
反射率(R)及穿透率(T)測量
色度參數(shù)(x, y, Y, L*, a*, b*)測量
(Optional:在線檢測、實(shí)時(shí)8-16 通道測量)
6. 機(jī)臺(tái)尺寸:長寬高約31*27*30 (cm)。
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