inficon PSG500 皮拿尼真空規(guī)技術(shù)介紹
inficon PSG500真空規(guī)管,又稱為Inficon PSG500 真空傳感器,以上為 PSG500 DN6 ISO-KF PN:350-060 實拍圖
中山共享光電真空技術(shù)有限公司告訴您如何選擇INFICON真空計:
PECVD,光伏,鍍膜,等離子行業(yè)等對各種高真空泵的前級壓力測量,通常我們建議采購皮拉尼真空計,
皮拉尼真空計原理如下:加熱皮拉尼真空計電阻絲,使之升溫至需要的工作溫度,由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時
帶走了能量,電阻絲的溫度會發(fā)生變化,熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系
根據(jù)皮拉尼真空計原理衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)
1.穩(wěn)定溫度,測量施加的電壓變化等效測量真空度(INFICON PSG500)
2.穩(wěn)定電壓,測量溫度變化等效測量真空度(熱偶規(guī))
inficon 皮拉尼真空計測量范圍與精度
測量范圍(空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣):5x10-4至1000mbar
精度(氮氣):1x10-3…100 mbar ±15%
5x10-4…1x10-3mbar ±50%
100...1000毫巴 ±50%
皮拉尼真空計的優(yōu)特點
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下,加以最大的保護,大大延長了燈絲的使用壽命
PSG50X 系列皮拉尼真空計具體具備如下型號:
根據(jù)使用環(huán)境,分為普通型,采用鎢絲,如PSG500 Tungsten PSG500-S with 2 SetPoint,
防腐蝕型,采用鎳絲,如PSG502-S Nickel with 2 Setpint
強防腐型,采用陶瓷饋入件,如PSG510-S Ceramic feedthrough ,tungsten, with 2 setpoint
PSG512-S Ceramic feedthrough , Nickel , with 2 setpoint
對應(yīng)實拍圖如下圖: PSG500 Tungsten
PSG500-S Tungsten with 2 SetPonit
PSG510-S Ceramic feedthrough ,tungsten, with 2 setpoint 實拍圖:
Inficon PSG50X 系列皮拉尼真空計訂貨號如下:
PSG500 Pirani Gauge Tungsten
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061 PSG500 1/8" NPT
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
350-063 PSG500 1/2" Tube
350-064 PSG500 8-VCR (1/2" VCR Female)
350-065 PSG500 4-VCR (1/4" VCR Female)
350-066 PSG500 7/16-20 UNF
350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068 PSG500. DN 16 CF-R, ext. body
PSG500-S tungsten, setpoints
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
350-083 PSG500-S 1/2" Tube
350-084 PSG500-S 8-VCR (1/2" VCR female)
350-085 PSG500-S 4-VCR (1/4" VCR female )
350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088 PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
PSG502-S nickel, setpoints
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141 PSG502-S 1/8" NPT
350-142 PSG502-S DN 16 CF-R
350-143 PSG502-S 1/2" Tube
350-144 PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145 PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
350-200 PSG510-S DN 16 ISO-KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
350-300 PSG512-S DN 16 ISO-KF
Inficon 皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計Inficon PCG400 Inficon PCG410 Inficon PCG550
皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
2.兩種原理的規(guī)管全過程都工作
3.100mbar—1000mbar使用薄膜規(guī)信號
4.1mbar–100mbar兩規(guī)信號同時采用
5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號
6.輸出的真空度信號(電壓)連續(xù),無跳躍
Inficon PCG400/ Inficon PCG410(現(xiàn)在已升級為PCG550,PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn))與PSG500基本相同,但彌補了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點,而且不受氣體類型的影響,在真空爐,單晶爐,多晶爐,藍寶石爐上廣泛應(yīng)用
Inficon PSG050可完全替代Leybold TR211,Inficon PSG051可完全替代Leybold TR216
中山共享光電真空技術(shù)有限公司專業(yè)代理INFICON:質(zhì)譜儀、殘余氣體分析儀、現(xiàn)場粒子檢測儀、射頻監(jiān)測器、薄膜沉積監(jiān)控器和控制器、分壓控制器、氦質(zhì)譜檢漏儀和鹵素氣體檢漏儀、真空計、真空閥、配件和饋入件以及專為滿足應(yīng)急響應(yīng)和安保需要而設(shè)計的現(xiàn)場便攜式 GC/MS
中山共享光電真空技術(shù)有限公司專業(yè)代理inficon 真空計:
Inficon 真空計我司代理的型號如下:
inficon冷陰極真空計:
PEG050潘寧型真空計
PEG100潘寧型真空計
MPG400/MPG401反磁控型皮拉尼真空計
Inficon 熱電離真空計
BAG100B-A型真空計
BPG400B-A型皮拉尼真空計
BPG402B-A型皮拉尼真空計
HPG400高壓強電離型皮拉尼真空計
BCG450TripleGaugeB-A型皮拉尼電容膜片真空計
Inficon 皮拉尼真空計
PSG050/PSG051皮拉尼標準真空計
PSG100/PSG101皮拉尼標準真空計
PSG500/-S,PSG502-S,PSG510-S,PSG512-S皮拉尼標準真空
PSG550,PSG552,PSG554皮拉尼標準真空計
PCG550,PCG552,PCG554皮拉尼電容膜片真空計
Inficon PorterCDG020D電容膜片真空計
PorterCDG020D電容膜片真空計
Inficon Sky電容膜片真空計–模擬型
CDG025AllCeramic電容膜片真空計
CDG160AllCeramic電容膜片真空計
Inficon
Inficon Sky電容膜片真空計–數(shù)字型
CDG025D電容膜片真空計
CDG045D電容膜片真空計
CDG100D電容膜片真空計
CDG160D/CDG200D電容膜片真空計
Inficon 用于HVAC/R 系統(tǒng)抽空的真空計
PilotPlus真空計
Inficon真空計控制器
VGC401/VGC402/VGC403真空計控制器
Inficon 真空開關(guān)
VSA100A真空開關(guān)
VSC150真空開關(guān)
VSA200,VSD200真空開關(guān)
Inficon PSG500 真空規(guī)管的現(xiàn)貨庫存圖片:
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