Varian TV 801 Navigator Bolted Flange最大的特色是對小分子氣體的超大抽速，
對應氫氣的抽速為850L/S ，該項指標讓全世界的所有其他品牌分子泵望塵不及。
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Varian TV1001 的渦輪轉子采用Varian**的“MacroTorr”技術設計加工而成，整個渦輪轉子整體成型，共有由11層葉片組成，前七層為標準葉片，每層的角度從高到低，后四層為Varian **技術的“Macrotorr”碟片組成，渦輪轉子其在分子泵內(nèi)部以38000轉／分鐘的速度高速旋轉。
Varian TV 801 Navigator Bolted Flange分子泵的機械結構圖如下：
中山共享光電真空技術有限公司針對Varian TV801 Navigator分子泵維修的步驟
如下：
＊超聲波**清洗轉/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達線圈阻值測量,轉子定子間隙測量
＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測試動平衡至Ｇ0.１6標準
＊測試0-38000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10－7mbar
*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-380000rpm全轉速動平衡分析及校準
＊Pfeiffer HLT560氦質譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
我司可以維修的Varian turbo pump的型號有：
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