熒光X-Ray膜厚儀詳細(xì)介紹
壹. 熒光X線控制部:
1. X 線源:油浸式小型微小焦點(diǎn)X線管. 50KV管電壓，可變管電壓。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 檢出器：比例計(jì)數(shù)管。
4. 濾波器：采用 Co 和 Ni 雙濾波器及數(shù)字式濾波器，可單一或同時(shí)使用。
5. 準(zhǔn)直儀：Collimator 采用五種孔徑一體成型式，可自動(dòng)切換使用。
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜.
( 選購) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜.
( 選購) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜.
6. 樣品觀測(cè)系統(tǒng)：彩色CCD及高畫質(zhì)顯示屏。
7. 多能譜分析器：使用256高頻分析器，光譜自動(dòng)分析，在執(zhí)行測(cè)量及運(yùn)算時(shí)，非常快速。
熒光X-Ray膜厚儀貳. 計(jì)算機(jī)操作部:
8. 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)：(※僅供參考)
w IBM 兼容中文個(gè)人計(jì)算機(jī).
w CPU ：Intel Celeron 900 MHz.
w RAM ：128 MB.
w Floppy Disk ：3.5 ×1， 40倍速 CD-ROM ×1.
w Hard Disk ：20 GB.
w 17" 高畫質(zhì)顯示屏.
9. 打印機(jī)：日本EPSON彩色噴墨式打印機(jī)。
10. 本機(jī)型(EX-3000系列)之操作系統(tǒng)采中文窗口(Windows98)對(duì)話式操作，非常簡便。
熒光X-Ray膜厚儀參. 特性說明:
11. 測(cè)量項(xiàng)目：
w 單層膜厚測(cè)定.
w 2 層膜厚測(cè)定.
w 3 層膜厚測(cè)定.
w 合金膜厚成份比同時(shí)測(cè)定.
w 化學(xué)鎳膜厚測(cè)定.
w 壓鑄鋅底材上鍍銅、鎳二層膜厚同時(shí)測(cè)定.
w 元素的光譜峰值測(cè)定分析.
12. 測(cè)量材質(zhì)：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發(fā)法測(cè)量,原子序22以下為吸收法測(cè)量。
13. 測(cè)量范圍：原子序22 ~ 24 ， 約 0.2 ~ 20 um.
原子序25 ~ 40 ， 約 0.1 ~ 30 um.
原子序41 ~ 51 ， 約 0.2 ~ 70 um.
原子序52 ~ 82 ， 約 0.05~ 10 um.
14. 測(cè)量機(jī)能：
w 同一點(diǎn)重復(fù)測(cè)定機(jī)能
w 輸出形式設(shè)定.
w 能譜測(cè)定.
15. 測(cè)量條件或膜厚規(guī)格可以保存.
當(dāng)要測(cè)量相同圖樣軌跡的制品時(shí)，若測(cè)量條件已儲(chǔ)存時(shí)，可以馬上進(jìn)行測(cè)量。
*大檢量線檔案數(shù)：可登錄儲(chǔ)存100組檔案。
*大測(cè)量檔案數(shù) ：可登錄儲(chǔ)存300組檔案。
16. 檔案記錄：
w 每一個(gè)批號(hào)可儲(chǔ)存無限個(gè)測(cè)量數(shù)據(jù).(因各型計(jì)算機(jī)之容量大小而定)
w 每一個(gè)測(cè)量檔案可輸入及儲(chǔ)存公司名稱.
w 每個(gè)批號(hào)???單獨(dú)執(zhí)行統(tǒng)計(jì)處理.
w 每個(gè)測(cè)量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線).
w 每個(gè)測(cè)量檔案可輸入統(tǒng)計(jì)處理方式.
17. 數(shù)據(jù)處理：
w 統(tǒng)計(jì)值表示：平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、*大值、*小值、上下限值范圍、Cp、Cpk。
w X-R 管制圖.
w 柱狀圖：有自動(dòng)設(shè)定及自己任意設(shè)定二種方式。
w 測(cè)量資料輪廓剖面分布圖。
w 測(cè)量資料三次元輪廓剖面分布圖。
w 可彩色打印觀物顯示屏上所觀測(cè)之圖像。
18. 底材補(bǔ)正：當(dāng)樣品與標(biāo)準(zhǔn)片的底材不同時(shí)，可作底材補(bǔ)正。
19. 觀物顯示屏：十字刻度線的高分辨率彩色觀物顯示屏。
熒光X-Ray膜厚儀肆.**裝置.
20. 本機(jī)俱有自動(dòng)**斷電系統(tǒng)功能.
21. 由鎖匙開關(guān)來控制X 線輸出，以防止外人任意操作.
伍.其它機(jī)能.
22. 密碼辨識(shí)功能.
23. 裝置維護(hù)調(diào)整.
陸.設(shè)備尺寸：
24. 測(cè)定部： 外觀尺寸：602(W) ×463(D) ×732(H) ㎜.
重 量： 約 55 Kg.
25. 操作部：(※僅供參考)
w 計(jì)算機(jī)主機(jī)尺寸：180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜.
重量：約 8.8 Kg.
w 顯示屏尺寸：360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜.
重量：約16.5 Kg.
w 打印機(jī)尺寸：500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜.
重量：約 4.3 Kg.
26. 測(cè)量樣品限制.
樣品限制高度： 150㎜
樣品限制重量： 3 kg.
柒. X-Y-Z軸可移動(dòng)式測(cè)量臺(tái).
27. 測(cè)量臺(tái)尺寸及移動(dòng)量.
測(cè)量臺(tái)尺寸 170 ×110 mm，
移動(dòng)量 (X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜.
捌. 使用電源.
28. 電壓: AC100V ±10V ； 50/60Hz
( 選購) AC110V， AC220V.
29. 測(cè)定主機(jī)容量: 700VA.
30. 操作主機(jī)容量: 300VA.
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