高性價比關(guān)鍵部位RF系統(tǒng)測量方案

BIRD 半導(dǎo)體 RF 測試

BIRD Semiconductor RF Measurement

l BIRD Technologies 在射頻行業(yè)的各市場及產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)因可靠性而世界聞名──我們?nèi)硇闹铝τ谔嵘?BIRD 產(chǎn)品的可靠性。

l 全球范圍內(nèi)設(shè)立有 Bird Service Center（BSC），能夠根據(jù)各國家標(biāo)準(zhǔn)和各企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)修理與校準(zhǔn) BIRD 產(chǎn)品。

l BSC 能隨時部署技術(shù)人員，監(jiān)測和排除故障原因，解決任何現(xiàn)場的問題，優(yōu)化客戶方案，滿足客戶的需求。

半導(dǎo)體市場

Semiconductor Market

l 自從等離子體**用于晶片生產(chǎn)過程后，功率測量就一直是半導(dǎo)體制造過程的關(guān)鍵部分。等離子體的 特性非常靈敏，受激勵能量影響較大，而射頻能量直接應(yīng)用于激勵等離子體；

l 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)包含了生產(chǎn)制造高度集成化電路，包含通過將大量極度復(fù)雜的生產(chǎn)工藝集成到昂貴的生產(chǎn) 材料上的過程。

l BIRD 長久以來為半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程器件的校準(zhǔn)提供高可靠性的，準(zhǔn)確度在 1%的功率傳感器及RF部件；

l 相對于半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)的其他部分，RF 電源雖然體積小但是是極為重要的部分，直接影響等離子體特性變化以及生產(chǎn)質(zhì)量，因此射頻可靠性在整個環(huán)節(jié)中不可或缺；生產(chǎn)過程的重復(fù)性對于提高產(chǎn)能和控制半導(dǎo)體生產(chǎn)材料的利潤至關(guān)重要。

l BIRD 由于射頻可靠性而聞名， 同時我們也以能提供滿足高重復(fù)性要求的儀器感到自豪。

BIRD RF  校準(zhǔn)

BIRD RF Calibration

l 在初期，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所選擇的激勵能量為 DC 直流源。DC 源具有低成本，低準(zhǔn)確度的特點，對于早期半 導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)工藝精度要求來說綽綽有余。

l 隨著制程科學(xué)技術(shù)及生產(chǎn)工藝的不斷進(jìn)步，設(shè)備廠商 選用射頻源代替 DC 源作為激勵能量。射頻源具有穩(wěn)定、精準(zhǔn)的特點，能夠保證激勵能量環(huán)節(jié)的可靠性。

l 在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，射頻能量直接決定了反應(yīng)室中等離子體的特性。在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，任何環(huán)節(jié)的 可靠性都影響了*終良率。

l 如在 wafer 生產(chǎn)的 20 日周期內(nèi)，如若任何環(huán)節(jié)出現(xiàn)的微小偏差，*終可能 會造成晶格損傷等嚴(yán)重問題，造成大批壞片。

l 作為產(chǎn)業(yè)鏈其中的環(huán)節(jié)之一，維持射頻電源的穩(wěn)定輸出是不可或缺的。在蝕刻、鍍膜等工藝中對射頻 電源的應(yīng)用非常廣泛，射頻上可能出現(xiàn)的問題直接制約了生產(chǎn)工藝及效率。

l 在新進(jìn)設(shè)備裝機(jī)驗證及日常運(yùn)行階段，需要定期使用 BIRD RF 校準(zhǔn)套件對射頻電源進(jìn)行驗證輸出一致 性并加以校正；當(dāng)機(jī)臺設(shè)備出現(xiàn)故障時，需要使用 BIRD RF 校準(zhǔn)套件進(jìn)行故障排查檢測。

BIRD 半導(dǎo)體測量解決方案

BIRD Semiconductor Measurement Solution

l 包含半導(dǎo)體精密功率傳感器、精密負(fù)載、精密讀數(shù)功率計及 SK-200 纜線測試儀。

其中：

1. 標(biāo)準(zhǔn)阻抗的低插損通過式精密功率傳感器（Sensor）串聯(lián)進(jìn)入系統(tǒng)，準(zhǔn)確測量功率參數(shù)；

2. 精密負(fù)載（Dummy Load）高效耗散射頻能量；

3. 讀數(shù)功率計（Meter）可自動計算駐波比，實現(xiàn)**計算；

4. SK-200-TC 對于纜線系統(tǒng)及負(fù)載準(zhǔn)確評估，保證系統(tǒng)穩(wěn)定準(zhǔn)確。

為了獲得*大的過程可重復(fù)性和一致性，現(xiàn)代等離子應(yīng)用需要**的RF功率調(diào)節(jié)和控制。 確保準(zhǔn)確，可重復(fù)地向腔室輸送射頻功率的關(guān)鍵因素是對射頻發(fā)生器的校準(zhǔn)，調(diào)節(jié)和監(jiān)控。 Bird現(xiàn)在提供超穩(wěn)定，低VSWR負(fù)載，當(dāng)與4020系列精密功率傳感器一起使用時，可快速，**地測量射頻源的功率輸出。 Bird的8865SC13，8890-300SC13，8921SC13和8931 SC型號不僅提供低VSWR，而且在過程的關(guān)鍵頻率下，VSWR的總變量小于0.1 dB。

由于針對不同的時間進(jìn)行校準(zhǔn)，因此無需進(jìn)行負(fù)載預(yù)熱或重復(fù)性風(fēng)險。 這樣可以使與此校準(zhǔn)相關(guān)的誤差*小化，并控制更關(guān)鍵的過程變量之一。

Precision Oil-Cooled Dummy Load

為了使生產(chǎn)過程重復(fù)性和一致性保持理想狀態(tài)，現(xiàn)代等離子體應(yīng)用需要**的RF 功率調(diào)節(jié)和控制。確保輸入到真空室的射頻功率的準(zhǔn)確性和重復(fù)性的關(guān)鍵部分就是射頻發(fā)射機(jī)的校準(zhǔn)、操作規(guī)程和日常監(jiān)測。

BIRD 提供超穩(wěn)定，低VSWR 的，針對發(fā)射機(jī)輸出功率配合BIRD 精密功率傳感器進(jìn)行快速**測量的負(fù)載。當(dāng)運(yùn)作在額定區(qū)域時，Dummy Load 負(fù)載VSWR 的總變化范圍能夠保持在0.1dB以內(nèi)。

負(fù)載針對不同時間長度校準(zhǔn)，重復(fù)性優(yōu)良且無需預(yù)熱。這樣能夠極大減小該項校準(zhǔn)的誤差，控制一個更關(guān)鍵的過程變量穩(wěn)定。

選型列表

Moduloads High Power Load

模組液冷負(fù)載系列是一款集成式水循環(huán)冷卻負(fù)載，需要 115伏或 230 伏的電壓輸入。模組負(fù)載能夠有效地將高達(dá) 25 至 50kW 功率等級的射頻能量耗散，支持頻率范圍延展至 900MHz。負(fù)載芯 固定在模組中心。 負(fù)載模組結(jié)構(gòu)緊湊，提供聯(lián)鎖控制電路提供故 障**保護(hù)，可在系統(tǒng)故障發(fā)生時保護(hù)發(fā)射機(jī)等重要系統(tǒng)單元。 

l 結(jié)構(gòu)緊湊

l 一體式水循環(huán)模組系統(tǒng)

l 內(nèi)置護(hù)鎖開關(guān)，保證 RF **環(huán)境

l 地方 

選型列表

BIRD RF Calibration Dummy Load射頻功率測量解決方案BIRD RF Calibration Dummy Load射頻功率測量解決方案BIRD RF Calibration Dummy Load射頻功率測量解決方案BIRD RF Calibration Dummy Load射頻功率測量解決方案