ST-21方阻儀,ST-21四探針測試儀
ST-21方阻測試儀是一種依照類似的國家標(biāo)準(zhǔn)和美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn),專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器,可用于測量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。 該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心;用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數(shù),使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測量速度快、精度高的特點(diǎn)。 ST-21方阻測試儀特點(diǎn): 1,采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分,測量準(zhǔn)確穩(wěn)定,低功耗; 2,以大屏幕LCD顯示讀數(shù),直觀清晰; 3,采用單個電池供電,帶電池欠壓指示; 4,體積≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g; 5,特制之手握式探筆,球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護(hù)薄膜 6,探頭帶抗靜電模塊
ST-21方阻儀,ST-21四探針測試儀技術(shù)參數(shù)
測量范圍 按方塊電阻量值大小分為二個量程檔: 1.方塊電阻 1.00~199.99Ω/□; 2.方塊電阻 10.0~1999.9Ω/□; *小分辨率:0.01Ω/□ 恒流源 測量過程誤差:≤±0.8% 模數(shù)轉(zhuǎn)換器 量程:0~199.99mv; 分辨率:10μv; 方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動顯示;小數(shù)點(diǎn)同步顯示; 測量不確定度 在整個量程范圍內(nèi),測量不確定度≤5% 四探針探頭規(guī)格 間距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ 電源 9V疊層電池1節(jié)
ST-21方阻儀,ST-21四探針測試儀可選配HP系列四探針探頭的型號及規(guī)格:
型號 (Model)
曲率半徑 (Radius)
壓力 (loads)
探針間距 (spacing)
探針排列 (Arrangement)
HP-501
0.5mm
100g
3.8mm
直線
HP-502
0.75mm
???線
HP-503
0.1mm
150g
1mm
HP-504
1.59mm
ST-21方阻測試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號及規(guī)格:
SP-601型方形四探針探頭是一種專門測量半導(dǎo)體薄層電阻(面電阻)的方塊電阻測試儀配用的方型四探針測試探頭,專用于測量小樣品的四探針探頭,可用于一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻 1,特制之手握式探筆 2,球形探針、鍍金探針有效接觸被測材料及保護(hù)薄膜不被損傷 3,探頭帶抗靜電模塊有效防止方塊電阻測試儀采集數(shù)據(jù)集成模塊燒壞 4,探頭使用壽命長 5,探針間距:1.59mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ
SP-601
方形
粵公網(wǎng)安備 44030402001250號