無塵室防止微粒子污染必須遵守下列幾條基本原則：

      一、不攜入：在進入無塵室不攜入微粒子的方法有：

     1、工作人員進入無塵室前，將機臺、零件攜入前應(yīng)進行清潔處理;

     2、進入無塵室工作人員在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的潔凈服、帽、鞋、手套、口罩等。通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵車間。

     3、機器及材料帶進無塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶入無塵室前用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。

     二、不儲備：若能徹底實施“不攜入”技術(shù)，潔凈室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的潔凈室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

      三、不發(fā)生：在控制*大污染源--人在潔凈室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應(yīng)控制**大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到*小限度應(yīng)采取以下對策：

     1、減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);

     2、采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);

     3、采用發(fā)塵小的潤滑油;

     4、機臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

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