**、生產(chǎn)工藝對(duì)凈化車間潔凈度的要求越來(lái)越高,隨著工藝的發(fā)展無(wú)塵車間由IS04級(jí),IS03級(jí),有的部分甚至要求到IS02級(jí),IS01級(jí)(>0.1nm的粒子數(shù),<10pc/m3).
**、生產(chǎn)工藝對(duì)凈化車間內(nèi)溫度,相對(duì)濕度的精度的要求越來(lái)越精,溫度精度從+0.5c提高到+0.2C或+0.1C,而相對(duì)濕度從+5%提高到+3%或+2%。
第三、生產(chǎn)環(huán)境不僅僅對(duì)建筑圍護(hù)、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料有要求,而且對(duì)聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境都有嚴(yán)格要求。例如:建筑形式、層高承重、圍護(hù)的裝修材料;空氣的潔凈度,溫濕度;靜壓力;水和氣體的純度和重金屬等含量以及噪聲、照度、靜電、C磁波、微振動(dòng)等等??偟膩?lái)說(shuō),微電子和光電子對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求可用“精”、“凈”、“大”來(lái)描寫。
第四:電子工業(yè)的迅速發(fā)展,還進(jìn)一步要求為其服務(wù)的凈化車間要有極好的另活性,能適應(yīng)電子工業(yè)習(xí)速發(fā)展的需要。建造電子工廠的**別無(wú)塵車間*重要的是要使建造的無(wú)塵車間應(yīng)能滿足生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的嚴(yán)格要求,使這能效率、高成品率地生產(chǎn)出高質(zhì)量的電子產(chǎn)品。這是建造**別凈化車間*根本的目的