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產(chǎn)品名稱：非接觸式3D表面精密檢測儀檢測球
產(chǎn)品型號：Aubat-A253
產(chǎn)品展商：AUBAT
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

國產(chǎn)高精度納米級非接觸式3D表面精密檢測儀標(biāo)準(zhǔn)半球（校準(zhǔn)檢測球）LUPHOScan: 適用于各種類型光學(xué)表面的非接觸式計量*先進的3D光學(xué)計量儀器，**測量非球面、衍射面和自由曲面等多種光學(xué)工件，可測量口徑高達 ?850mm；用于對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對稱表面（光學(xué)器件）進行超高精密非接觸式三維表面形狀測量。該輪廓儀的主要優(yōu)點包括測量速度快，對一些特殊的表面形狀（如平頂或帶有拐點的輪廓）具有高度靈活性。

產(chǎn)品描述

名稱：標(biāo)準(zhǔn)半球（校準(zhǔn)檢測球）
貨號：Aubat-A253/30nm
參數(shù)：
直徑約φ25mm
P+V(圓度）≤30nm
廠家：奧本精密

我公司生產(chǎn)的25mm標(biāo)準(zhǔn)半球（檢測校準(zhǔn)球），其精度參數(shù)完全符合泰勒.霍普森LUPHOScan系列非接觸式3D表面精密檢測儀（非接觸式表面輪廓測量儀）的測量需求。國產(chǎn)高精度納米級參數(shù)可媲美進口，客戶信賴復(fù)購率高。

了解非接觸式表面輪廓測量儀：
LUPHOScan: 適用于各種類型光學(xué)表面的非接觸式計量
*先進的3D光學(xué)計量儀器，**測量非球面、衍射面和自由曲面等多種光學(xué)工件，可測量口徑高達 ?850mm；用于對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對稱表面（光學(xué)器件）進行超高精密非接觸式三維表面形狀測量。該輪廓儀的主要優(yōu)點包括測量速度快，對一些特殊的表面形狀（如平頂或帶有拐點的輪廓）具有高度靈活性。

測量原理

當(dāng)被測光學(xué)鏡面旋轉(zhuǎn)時，光學(xué)測頭同時跟蹤著被側(cè)件的理論設(shè)計輪廓移動，進而形成在整個測量面法線方向上的螺旋式掃描。這種技術(shù)能夠測量幾乎所有類型的光學(xué)面。

測量技術(shù)特點：
高度精Q
? 能精Q測量面形誤差且具備高度可重復(fù)性，面形誤差
精度可高達< λ/20 (PV99) 和 ≥5nmRMS*
測量范圍大靈活性極高
? 測量口徑范圍可從5mm 到 850mm，測量高度范圍到210mm
高密度測量點
? 測量點數(shù)高達600萬，以用于**測量和分析大口徑的中頻面形誤差
自由曲面的檢測
? 對回轉(zhuǎn)非對稱面可測量整個園周的*大斜度變化到±8° (徑向斜度到90°)
幾乎能測量所有的材料
? 透明、鏡面、不透明、拋光或磨光面

以提高測量精度和重復(fù)再現(xiàn)性精度為前提的優(yōu)化技術(shù)

花崗巖參考支架
? 采用材質(zhì)分布均勻的花崗巖為計量參考支架，外加通過優(yōu)化設(shè)計確保熱膨脹誤差的準(zhǔn)確補償，從而將振動造成的測量誤差減到*小。
測量環(huán)境條件變化的實時誤差補償
? 四個溫度變化測量傳感器和一個氣壓變化傳感器
測量系統(tǒng)噪音極低，精度*高
? 采用TMC設(shè)計的主動抗振系統(tǒng)，以獲得*佳隔振測量環(huán)境
自動調(diào)心調(diào)平
? 全自動測量，提供極為穩(wěn)定而**的測量
結(jié)果

計量方法：
使用一個有效口徑為220mm的球形設(shè)計工件進行研究測試。將球形工件放在儀器的旋轉(zhuǎn)平臺上，首先將工件軸與轉(zhuǎn)臺軸對正進行測量，然后再平移一定的距離進行離軸球面的測量。這種使用一個偏離軸10mm的球面來代表自由曲面的測試方法，其優(yōu)點是可以直接將測試結(jié)果與已知面形誤差的精加工球面進行比較。

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