Dimension5000掃描探針顯微鏡Dimension5000SPM具有對(duì)大樣品的自動(dòng)成像能力，使之在半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)設(shè)備的制造過程中廣泛使用，它能夠測(cè)量直徑達(dá)350mm的樣品上測(cè)量100多個(gè)區(qū)域。它具有原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡的全部配置，可以在三維尺寸上探測(cè)缺陷、測(cè)量表面粗糙度和其它特征，測(cè)量過程對(duì)樣品無(wú)損傷并且無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理和修飾。