高功率激光反射鏡的幾個(gè)關(guān)鍵技術(shù)
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(中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所, 成都雙流350信箱, 610209)
摘 要 分析了制作高功率連續(xù)激光反射鏡材料的熱性能、缺陷及其加工工藝, 提出了制作高功率激光反射鏡應(yīng)考慮的幾個(gè)關(guān)鍵問題: 反射鏡材料的綜合熱性能比值S , 材料的微觀結(jié)構(gòu)、缺陷的大小和晶向的選擇, 以及加工工藝的設(shè)計(jì)。并介紹了實(shí)驗(yàn)結(jié)果。
關(guān)鍵詞 反射鏡 熱性能 缺陷 粗糙度
中圖分類號(hào) TN 244
高功率連續(xù)激光反射鏡(以下簡(jiǎn)稱反射鏡) 是高能連續(xù)激光系統(tǒng)中的主要光學(xué)元件, 其質(zhì)量的好壞, 直接影響著高能激光系統(tǒng)的性能。過去, 人們只注意研究如何提高反射鏡的反射率, 單純依靠表面鍍膜層的好壞來(lái)衡量反射鏡的好壞。隨著高能連續(xù)激光技術(shù)的飛速發(fā)展,激光系統(tǒng)中的反射鏡承受著越來(lái)越高的功率密度, 傳統(tǒng)的材料和表面質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)已不能完全適應(yīng)于高能連續(xù)激光系統(tǒng)的需要。在現(xiàn)在以及今后的高能連續(xù)激光系統(tǒng)中, 制約著反射鏡性能的因素已不單是反射率, 它還包括制作反射鏡材料的熱性能、微觀結(jié)構(gòu)、缺陷、晶向以及加工工藝等。而這些因素, 不僅在過去, 就是現(xiàn)在也往往被我們的設(shè)計(jì)者及加工者所忽視。因此,本文將重點(diǎn)分析這些因素對(duì)反射鏡的影響。
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