上海朝輝【MEMS壓力傳感器】按原理分，有電容型、壓阻型，壓電式，金屬應(yīng)變式，光纖式等。重點介紹硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機電傳感器。
【MEMS壓力傳感器】是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，【MEMS壓力傳感器】具有較高的測量精度、較低的功耗，極低的成本?；菟诡D電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。
【MEMS壓力傳感器】采用周邊固定的圓形的應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁，采用MEMS技術(shù)直接將四個高精密半導(dǎo)體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力*大處，組成惠斯頓測量電橋，作為力電變換測量電路，將壓力這個物理量直接變換成電量，其測量精度能達(dá)0.01%~0.03%FS。【MEMS壓力傳感器】上下二層是玻璃體，中間是硅片，硅片中部做成一應(yīng)力杯，其應(yīng)力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個典型的絕壓壓力傳感器。當(dāng)外面的壓力經(jīng)引壓腔進(jìn)入傳感器應(yīng)力杯中，應(yīng)力硅薄膜會因受外力作用而微微向上鼓起，發(fā)生彈性變形，四個電阻應(yīng)變片因此而發(fā)生電阻變化，破壞原先的惠斯頓電橋電路平衡，產(chǎn)生電橋輸出與壓力成正比的電壓信號。
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PT124B-11X剛性桿系列高溫熔體壓力傳感器/變送器系列
PT124B-12X柔性管系列高溫熔體壓力傳感器/變送器系列
PT124B-112剛性桿替代進(jìn)口型高溫熔體壓力傳感器/變送器系列
PT124B-123柔性管替代進(jìn)口型高溫熔體壓力傳感器/變送器系列
PT124B-21X工業(yè)常溫系列壓力傳感器/變送器系列
PT124B-22X液位變送器系列
PT124B-28X工業(yè)防爆壓力變送器系列
PT124Y-61X高溫熔體隔膜壓力表系列
PT124Y-62X衛(wèi)生型隔膜壓力表系列
PT124B-25X工程設(shè)備（盾構(gòu)機）專用壓力變送器系列
PT124B-23X空調(diào)、制冷機/壓縮機專用壓力變送器系列
PT124B-24X汽車專用壓力變送器系列
WR-20X工業(yè)用溫度傳感器系列
BP10X爆破閥系列
CZL3/6系列 多維力/力傳感器系列 三維力/六維力傳感器
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