在半導(dǎo)體晶圓的制造中,光磁存儲(chǔ)生產(chǎn)中,太陽(yáng)能面板制造中,TFT,OLED及其他光學(xué)**鍍膜中,
**分析儀器及航空航天研究中,都離不開(kāi)高真空,渦輪分子泵,復(fù)合分子泵,磁懸浮分子泵是目前獲得高
真空最好設(shè)備之一,其工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的多層轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,
從而被壓縮、被一層一層定子隔離,最終驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走而獲得高真空。
分子泵轉(zhuǎn)子,是典型的高速撓性轉(zhuǎn)子,其多達(dá)十幾層幾百個(gè)葉片,轉(zhuǎn)動(dòng)的葉片和定子之間只有0.1毫米,
制造公差達(dá)到微米級(jí)。在轉(zhuǎn)速高達(dá)每分鐘7.2萬(wàn)轉(zhuǎn)時(shí),葉片端部的速度接近超音速,每次開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)、停下時(shí),
加速度和減速度都很大,輕微的偏差都將引起極大的震動(dòng),其平衡級(jí)別要求遠(yuǎn)在國(guó)際最高標(biāo)準(zhǔn)G0.4之上,
在其泵殼測(cè)量出的震動(dòng)值要求達(dá)到0.01um,高速在線動(dòng)平衡調(diào)整是其核心技術(shù)之一。
而高速旋轉(zhuǎn)體,普遍存在狀態(tài)的難確定性,渦輪分子泵的生產(chǎn)國(guó)家及廠商主要集中在英國(guó)愛(ài)德華公司
(Edwards),德國(guó)萊寶(leybold)公司及普發(fā)(Pfeiffer)公司,法國(guó)的阿爾卡特(Alcatel)公司及
意大利的瓦里安(Varian)公司,日本的島津(shimadzu),大阪(Osaka)及荏原(Ebara),他們無(wú)一例外都
告知客戶大約在1到2年后將分子泵送回原廠維修,
用戶不知道如何判斷渦輪分子泵的狀態(tài)。新泵使用一到兩年后,有的分子泵狀態(tài)還好,完全無(wú)需送修;
有的就狀態(tài)就很差,甚至已報(bào)廢。而分子泵拆卸及安裝會(huì)耗時(shí)不少,送修國(guó)外更是費(fèi)時(shí)費(fèi)力,價(jià)格不菲。
渦輪分子泵維修,復(fù)合分子泵維修,磁懸浮分子泵維修是項(xiàng)非常細(xì)致的工作,同時(shí)必須借助專(zhuān)門(mén)的
分子泵維修和檢測(cè)設(shè)備。震動(dòng)頻譜分析儀就是渦輪分子泵維修的必備設(shè)備之一。
分子泵若軸承滾珠磨損,內(nèi)圈磨損,外圈磨損,油脂**,旋轉(zhuǎn)偏差,對(duì)中**,主軸彎曲,平衡**等,
都會(huì)表現(xiàn)在震動(dòng)上,通過(guò)分子泵維修專(zhuān)用的震動(dòng)頻譜分析儀,查看一定范圍的加速度頻譜值,就能迅速準(zhǔn)確
判斷出分子泵的狀態(tài)。
專(zhuān)業(yè)的分子泵維修公司一定會(huì)配備震動(dòng)頻譜分析設(shè)備,相反一些小的山寨廠,四處晃蕩抄襲資料,
可能連震動(dòng)頻譜報(bào)告都未必能看明白,不能不防
中山共享光電真空技術(shù)有限公司是專(zhuān)業(yè)從事分子泵維修工作的,擁有分子泵維修檢測(cè)必須的震動(dòng)頻譜
分析設(shè)備三臺(tái),擁有國(guó)家級(jí)**一項(xiàng),能協(xié)助客戶**分析分子泵的狀態(tài)。
渦輪分子泵維修技術(shù)-振動(dòng)頻譜分析圖
中山共享光電秉承"專(zhuān)心 專(zhuān)業(yè) 全心 全意 盡善 盡美",竭誠(chéng)為光學(xué)鍍膜行業(yè),光磁存儲(chǔ)行業(yè),半導(dǎo)體生產(chǎn)
行業(yè),平板及光電顯示器行業(yè),分析儀器及科研行業(yè)提供上等的分子泵維修服務(wù)。
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