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測厚儀的測量方法
X
射線和
β
射線法測厚儀
是無接觸無損測量,但裝置復雜昂貴,測量范圍較小。因有放射源,使用者必須遵守射線防護規(guī)范。
X
射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。
β
射線法適合鍍層和底材原子序號大于
3
的鍍層測量。電容法僅在薄導電體的絕緣覆層測厚時采用。
楔切法,光截法,電解法,厚度差測量法,稱重法,
X
射線熒光法,
β
射線反向散射法,電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有損檢測,測量手段繁瑣,速度慢,多適用于抽樣檢驗。
隨著技術(shù)的日益進步,特別是近年來引入微機技術(shù)后,采用磁性法和渦流法的測厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實用化的方向進了一步。測量的分辨率已達
0.1
微米,精度可達到
1%
,有了大幅度的提高。它適用范圍廣,量程寬、操作簡便且價廉,是工業(yè)和科研使用*廣泛的測厚儀器。
采用無損方法既不破壞覆層也不破壞基材,檢測速度快,能使大量的檢測工作經(jīng)濟地進行。
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