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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
Polyteknik - 真空鍍膜設(shè)備
詳情介紹：
l 度身訂做, 可于同一臺(tái)設(shè)備上整合不同工藝: ?
電子束蒸鍍?
磁控濺射(直流、射頻)
? 等離子化學(xué)氣相沉積
HIPIMS（高功率脈沖磁控濺鍍，High Power Impulse Magnetron Sputtering）
掠射角沉積（GLAD - Glanced Angle Deposition）
l 加載互鎖真空室(Loadlock)及等離子表面處理可選
l 可應(yīng)用在不同襯底：硅片、高分子材料、布疋、玻璃……
l 由研發(fā)用的單片式設(shè)備、量產(chǎn)型設(shè)備、 卷對(duì)卷以至集束型設(shè)備(Cluster Tool) 一應(yīng)俱全
l 良好的鍍膜均勻性
l 工藝參數(shù)自動(dòng)記錄, 方便日后追蹤
l 全計(jì)算機(jī)自動(dòng)化控制
l **互鎖功能
l 所有部件使用著品牌子, 性能穩(wěn)定可靠
l 亦提供小批量代工生產(chǎn)及工藝研發(fā)
自設(shè)實(shí)驗(yàn)室設(shè)有紅外傅立葉分析設(shè)備、橢偏儀、X射線成分分析及臺(tái)階儀等設(shè)備
