產(chǎn)品目錄
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
MKS - 先進(jìn)真空工藝設(shè)備零件和系統(tǒng)
詳情介紹：
美國萬機(jī)儀器有限公司是全球*有名的先進(jìn)生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供貨商之一， 其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件生產(chǎn)、 平板顯示器、光學(xué)儲存介質(zhì)、玻璃鍍膜、光電、制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備。我們?yōu)?/span>MKS香港、中國及菲律賓的授權(quán)經(jīng)銷商
產(chǎn)品包括:
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種類
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產(chǎn)品
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應(yīng)用
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流量測量及控制
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 質(zhì)量流量控制器質(zhì)量流量計
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For precision gas flow control for vacuum process
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壓力測量
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 Baratron®薄膜電容式高精度壓力傳感器 |
測量真空艙及抽氣管道的工作壓力
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 壓力傳感器/質(zhì)量流量控制器電源和顯示儀 |
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氦氣檢漏儀
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 PICO® 手提式氦氣檢漏儀 (7.7公斤) |
直空艙檢漏
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殘余氣體分析儀
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實時檢查工藝時真空艙的氣體成分
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真空零件
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 不銹鋼真空管道和連接件 真空閥門 (加熱功能可選) 蝶閥(用于下游壓力控制)  |
一般真空用部件
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離子發(fā)生器
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 ASTRON®離子發(fā)生器 |
用NF3 等離子清洗PECVD腔體, 減少維護(hù)時間, 增大產(chǎn)能
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臭氧發(fā)生器
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 SEMOZON™臭氧發(fā)生器 |
用于晶體硅電池片清洗及去除有機(jī)物
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電源
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 直流電源 射頻電源及阻抗匹配器 |
PECVD等真空設(shè)備離子源上使用
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