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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
Invenious - 平面掃描儀和6軸–多軸納米定位器
詳情介紹：
Invenious為AFM提供的XY平面掃描儀范圍超過800um以及總誤差少于 8nm用于解決PTR長掃描。
另外Invenious還為精密機械定位提供多達6軸定位與10mm范圍毫微米解決方案。同時廣泛應用于納米加工的二元光學蝕刻技術(shù)，納米器件定位。
另外Invenious還為精密機械定位提供多達6軸定位與10mm范圍毫微米解決方案。同時廣泛應用于納米加工的二元光學蝕刻技術(shù)，納米器件定位。