產(chǎn)品目錄
- EVG 晶圓封裝工藝設(shè)備
- DELCOM薄膜電阻計(jì)
- FSM
- Schmitt 粗糙度測(cè)量?jī)x
- MicroSense振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)
- MicroSense電容式位移傳感器
- Herzan
- Herz 防振臺(tái) 隔振臺(tái)
- Filmetrics光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x
- 美國(guó)4D動(dòng)態(tài)光學(xué)干涉儀
- Chaona 3D光學(xué)輪廓儀
- FEI 電子顯微鏡
- Imago 三維原子探針
- BrightSpot
- AEP
- BeneQ
- Bruker 能譜系統(tǒng)
- SNU
- WaveCatcher場(chǎng)地測(cè)量服務(wù)和工具
- 主軸跳動(dòng)誤差分析儀 主軸運(yùn)動(dòng)誤差測(cè)試系統(tǒng) 主軸誤差分析儀
- MKS流量計(jì)
- MKS壓力計(jì)
- MKS殘余氣體分析儀
- MKS遠(yuǎn)程等離子體源
- SCI 等離子清洗設(shè)備
- Simax 步進(jìn)式光刻機(jī)
- CERES
- CETR
- CleanLogix
- Dover
- Essemtec
- First Nano
- Gatan
- Honda Electronics
- Imago
- Invenious
- Kayex
- Laser Prismatics
- LESCO
- MAT
- mks
- n&K Technology
- nPoint
- Polyteknik
- ShB
- Solar Metrology
- SST
- Tailor
- Tau Science
- Thermo Noran
- VIC
- WestBond
- 其它
- 二手儀器及零件
聯(lián)系我們
中文網(wǎng)站：www.dymek.cn
上海分公司：
021-38613675/38613676
東莞分公司：
0769-89818868
北京分公司：
010-62615731/62615735
香港總公司：
00852-24153601
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
CETR - Model eCP-4 電化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)
詳情介紹：
全世界*大磨潤(rùn)設(shè)備生產(chǎn)商─CETR (Center For Tribology Inc.) ， 其*新推出之型號(hào) eCP-4為世界開創(chuàng)兼具化學(xué)機(jī)械研磨及電化學(xué)機(jī)械研磨之桌上型機(jī)臺(tái)。機(jī)臺(tái)可用于 CMP , eCMP 制程之研究 及 有關(guān)消耗品之開發(fā)、研究。 全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)分析各種檢測(cè)器之訊號(hào)︰
芯片與研磨墊 或 墊與麿墊片(CMP pad conditioner) 之間動(dòng)態(tài)摩擦系數(shù)量測(cè)，從而了解芯片之研磨速度及不均勻性
在電化學(xué)機(jī)械研磨應(yīng)用時(shí)，可實(shí)時(shí)偵測(cè)電流強(qiáng)度及電壓值
透過音頻輸出檢測(cè)器 ( acoustic emission detector) 所測(cè)得之能量及峰值，可判斷研磨強(qiáng)度及半導(dǎo)體薄膜上極微小之裂縫、脫落
可實(shí)時(shí)偵測(cè)研磨液及研磨墊之溫度變化
可實(shí)時(shí)偵測(cè)研磨墊在研磨時(shí)或磨墊時(shí)之磨損深度(pad wear depth)