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上海分公司：
香港總公司：
00852-24153601
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
美國(guó)AEP 公司專(zhuān)注于表面測(cè)量技術(shù)開(kāi)發(fā)與應(yīng)用, 其生產(chǎn)的臺(tái)階儀和光學(xué)輪廓儀, 厚度、粗糙度、孔深 …等三維空間尺寸測(cè)量，并適用于多種產(chǎn)業(yè)，例如 : 芯片封裝、MEMS 、電路板、 LED、LCD。同時(shí)AEP亦開(kāi)發(fā)出實(shí)時(shí)應(yīng)力分析及鍍膜后的應(yīng)力測(cè)量設(shè)備, 以滿(mǎn)足高新行業(yè)產(chǎn)品微日漸小化與高精度的要求.
NanoMap 500LS 臺(tái)階儀特點(diǎn):
° 結(jié)合常規(guī)的臺(tái)階儀和掃描探針顯微鏡技術(shù), 雙模式操作:
長(zhǎng)程掃描: 100mm特長(zhǎng)掃描距離
短程掃描: 采用**的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式，三維掃描
范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm
° 標(biāo)配5寸樣品臺(tái), 8/12寸可選, 又可訂做更大尺寸
° 不用額外付費(fèi)，AEP 提供3D 測(cè)量軟件
° 測(cè)量數(shù)據(jù)兼容功能強(qiáng)大的SPIP 分析軟件
° 掃描頭精心設(shè)計(jì)，避免因意外觸碰引致的損壞
° 實(shí)時(shí)力量監(jiān)控: 0.1 — 100 mg
° 同時(shí)可選臺(tái)階儀和光學(xué)輪廓儀的功能，節(jié)省空間
° 簡(jiǎn)易、友好的操作界面
° 探針測(cè)量采用高精度的光學(xué)傳感器
° 長(zhǎng)壽命白光LED 照明系統(tǒng)
可放置大樣品（圖中為200X
雙模式光學(xué)輪廓儀、臺(tái)階儀
超低價(jià)?。?！
USD28，000
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技術(shù)規(guī)格 |
軟件可控探針壓力范圍 |
0.1 -100 mg |
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垂直方向解釋度 |
1? |
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臺(tái)階高度重復(fù)性 |
5? |
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*大高度測(cè)量范圍 |
500 um |
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*大樣本高度 |
50mm |
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Z軸馬達(dá)移動(dòng)范圍 |
55mm |
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手動(dòng)平臺(tái)旋轉(zhuǎn)范圍 |
360° |
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手動(dòng)平臺(tái)傾斜范圍 |
± 4° |
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探針針尖半徑(可選) |
2.5μm、5 μm、12.5 μm、25 μm, 0.2 — 0.8μm |
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短程掃描: (壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)) |
XY軸解釋度 |
0.1 um |
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XY軸定位重復(fù)性 |
0.2 um |
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掃描速度 |
10 - 50 um/秒 |
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掃描范圍 |
10 - 500um |
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長(zhǎng)程掃描 |
樣本尺寸 |
150mm x 150mm |
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XY 平臺(tái)重復(fù)性 |
5 um (2um 可選) |
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XY平臺(tái)掃瞄范圍 |
150mm x150mm(200mm可選) |
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*大掃描距離 |
150 mm |
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掃描速度 |
0.1 to5 mm/秒 |
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參考片 |
參考片高度 |
100 micron |
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系統(tǒng) |
相機(jī)視場(chǎng) |
1.5 x1.5 mm |
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照明系統(tǒng) |
暗場(chǎng)／明場(chǎng)式 |
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操作系統(tǒng) |
窗口XP |
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連接 |
USB2.0 |
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電源 |
交流電110/ 240V， 350 W |
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尺寸 |
20”W x22”L x25”H |
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重量 |
160 lb |
