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產(chǎn)品名稱(chēng)：BeneQ TFS 500原子層沉積薄膜系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)：BeneQ TFS 500
產(chǎn)品廠商：BeneQ
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

BeneQ TFS 500原子層沉積薄膜系統(tǒng)是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于各種薄膜應(yīng)用的原子層沉積系統(tǒng)。該系統(tǒng)先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念和解決方案使其能夠達(dá)到**的鍍膜效果。倍耐克公司努力用開(kāi)放和**的心態(tài)來(lái)開(kāi)發(fā)全新的原子層沉積 (ALD)系統(tǒng).我們的*終目標(biāo)是通過(guò)全新的發(fā)明創(chuàng)造開(kāi)發(fā)出新的應(yīng)用和商業(yè)機(jī)會(huì)。TFS 500 已經(jīng)通過(guò)它在實(shí)際應(yīng)用中的表現(xiàn)實(shí)現(xiàn)了這個(gè)目標(biāo)。它不僅被用作進(jìn)一步的薄膜研究而且還被用來(lái)實(shí)現(xiàn)大批量的自動(dòng)化生產(chǎn)

詳情介紹：

適合于科研和批量生產(chǎn)的TFS 500 原子層沉積薄膜系統(tǒng)

TFS 500是專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于各種薄膜應(yīng)用的原子層沉積系統(tǒng)。該系統(tǒng)先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念和解決方案使其能夠達(dá)到**的鍍膜效果。倍耐克公司努力用開(kāi)放和**的心態(tài)來(lái)開(kāi)發(fā)全新的原子層沉積 (ALD)系統(tǒng).我們的*終目標(biāo)是通過(guò)全新的發(fā)明創(chuàng)造開(kāi)發(fā)出新的應(yīng)用和商業(yè)機(jī)會(huì)。TFS 500 已經(jīng)通過(guò)它在實(shí)際應(yīng)用中的表現(xiàn)實(shí)現(xiàn)了這個(gè)目標(biāo)。它不僅被用作進(jìn)一步的薄膜研究而且還被用來(lái)實(shí)現(xiàn)大批量的自動(dòng)化生產(chǎn)。

TFS 500的襯底材料可以是硅片或其他平面基底材料, 也可以是多孔材料, 或者是具有較高深寬比的復(fù)雜的三維物體。它還可以配備手動(dòng)傳送臂用來(lái)提高硅片的處理能力。不同類(lèi)型的反應(yīng)腔能夠安裝在真空腔中以滿足不同的客戶(hù)工藝和應(yīng)用的需要。TFS 500十分適合科研系統(tǒng)中多個(gè)不同的項(xiàng)目環(huán)境。TFS 500不僅能夠滿足嚴(yán)格的工業(yè)化生產(chǎn)的可靠性要求, 而且能夠適合科學(xué)研究靈活性的需要。設(shè)備本身自動(dòng)化和模塊化的結(jié)構(gòu)可以滿足各種工程技術(shù)和**規(guī)范的標(biāo)準(zhǔn)。所有的零部件都采用現(xiàn)有的成熟的產(chǎn)品以保證零部件的及時(shí)供應(yīng)。前驅(qū)體料罐可以快速簡(jiǎn)單的更換。前驅(qū)體可以是氣態(tài)、液態(tài)和固態(tài)的物質(zhì)。作為標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng), 熱源可以被加熱到500°C。客戶(hù)的前驅(qū)體料源系統(tǒng)*少可以配備2路, *多可以配備5路氣態(tài), 4路液態(tài)和4路熱源

技術(shù)性能

特點(diǎn)關(guān)鍵性能

•循環(huán)周期小于2秒。在特定的條件下可以小于1秒(對(duì)AI ₂O₃膜而言薄膜厚度均勻性小于 ±1%)

•多種熱源選擇,作為標(biāo)注選項(xiàng)可以選用*高500°C的熱源。

•可定制的反應(yīng)腔具有**的鍍膜效果

•作為標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)的直接和遠(yuǎn)程等離子體原子層沉積 (plasma ALD)

操作的靈活性– 模塊化和靈活性

不論您是想要為單片還是多片硅片鍍膜,還是為多達(dá)2000枚銀幣做表面涂層, TFS 500都是您的*佳選擇。倍耐克公司值得信賴(lài)的ALD團(tuán)隊(duì)可以將您的需要融入到機(jī)器的設(shè)計(jì), 操作和輔助功能中。

適合于單片或多片硅片,三維物體或者是粉末的不同的反應(yīng)腔體

•完全模塊化的設(shè)計(jì)使反應(yīng)腔,前驅(qū)體和管路的更換簡(jiǎn)單快速

•較高的沉積壓力適合于大面積的基底材料

•手動(dòng)傳送臂可以使基材的更換更加快速

•熱壁反應(yīng)腔可以使基底溫度均勻分布, 同時(shí)避免了前驅(qū)物的凝結(jié)和二次反應(yīng)。

•冷壁真空腔可以快速加熱和冷卻

•安裝在真空腔的輔助接口可以實(shí)現(xiàn)等離子體和原位檢測(cè)

•可以在潔凈室環(huán)境下使用, 包括潔凈室墻體連接。

**

倍耐克公司的設(shè)備充分考慮了科研人員, 操作者和維護(hù)人員的**。所有工藝零部件的位置都考慮到了快速更換和準(zhǔn)確的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)。所有的前驅(qū)體都位于通風(fēng)罩內(nèi)以達(dá)到**存放的目的。TFS 500滿足CE, UL和CSA的**規(guī)范。

獨(dú)特的設(shè)計(jì)，使用簡(jiǎn)單

TFS 500采用了較小的占地面積和用戶(hù)友好的設(shè)計(jì)。所有的鍍膜和工藝控制操作都在腰部以上位置進(jìn)行。前驅(qū)體料瓶的更換簡(jiǎn)單, 快速和可靠。所有的功能都由PLC控制, 包括PC人機(jī)界面和數(shù)據(jù)采集。

TFS 500 傳送臂

裝有單硅片反應(yīng)腔的TFS 500裝有批量反應(yīng)腔的 TFS 500, 可以處理100片晶體硅太陽(yáng)能電池硅片.

裝有三維/批量物體反應(yīng)腔的 TFS500

BeneQ TFS 500 原子層沉積薄膜系統(tǒng)
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