產(chǎn)品目錄
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- MKS流量計(jì)
- MKS壓力計(jì)
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- SCI 等離子清洗設(shè)備
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
MKS流量計(jì)（質(zhì)量流量控制器）：
? π系列金屬密封壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器-MKS流量計(jì)
? ALTA? 系列金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器-MKS流量計(jì)
? 金屬和彈性密封型熱質(zhì)量流量控制器-MKS流量計(jì)
? 以壓力為基準(zhǔn)的質(zhì)量流量控制器-MKS流量計(jì)
? 實(shí)時(shí)流量校驗(yàn)器-MKS流量計(jì)
? 流量比例控制器-MKS流量計(jì)
? 質(zhì)量流量計(jì)電源，讀數(shù)輸出及附件
詳情介紹：
MKS 是全球*有名的先進(jìn)生產(chǎn)工藝控制設(shè)備供應(yīng)商之一， 其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件生產(chǎn), 平板顯示器, 光學(xué)儲(chǔ)存介質(zhì), 玻璃鍍膜, 光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設(shè)備及制藥和醫(yī)學(xué)成像設(shè)備。 MKS 前瞻性的**開(kāi)發(fā)， 推動(dòng)其產(chǎn)品一直處于全球技術(shù)**地位。 MKS 的電源，流量測(cè)量, 控制（流量計(jì)，壓力計(jì)）和復(fù)雜氣體相關(guān)的工藝監(jiān)控技術(shù)， 改善了設(shè)備完好率和產(chǎn)品成品率， 提高了生產(chǎn)產(chǎn)量和產(chǎn)品性能。 MKS 產(chǎn)品起源于我們的壓力測(cè)量和控制核心技術(shù)， 延伸到材料遞送, 氣體和薄膜成分分析,靜電荷控制,工藝控制,信息管理,電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。MKS主要提供有： 氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子 /臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器, 真空產(chǎn)品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。
MKS流量計(jì)：
•π系列金屬密封壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器
•ALTA® 系列金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器
•金屬和彈性密封型熱質(zhì)量流量控制器
•以壓力為基準(zhǔn)的質(zhì)量流量控制器
•實(shí)時(shí)流量校驗(yàn)器
•流量比例控制器
•質(zhì)量流量計(jì)電源，讀數(shù)輸出及附件
MKS壓力計(jì)：
•電容式度壓力（高精度壓力計(jì)、常溫型工藝測(cè)量壓力計(jì)、加熱型工藝測(cè)量壓力計(jì)、高溫型工藝測(cè)量壓力計(jì)、差壓式工藝測(cè)量壓力計(jì)）
•壓力傳感器
•工業(yè)用傳感器
•壓力開(kāi)關(guān)
•壓力控制子系統(tǒng)
•顯示器及電源
氣體分析：
•傅立葉變換紅外光譜分析儀
•氣體分析(殘余氣體分析RGA、工藝過(guò)程檢測(cè)、大氣壓下氣體分析、工藝過(guò)程監(jiān)控軟件)
•泄漏檢測(cè)(氦質(zhì)譜檢漏儀)
•遠(yuǎn)程等離子系統(tǒng)(反應(yīng)室清洗、硅片上工藝)
•臭氧產(chǎn)品系列
等離子電源：
•RF等離子電源(中頻、超高頻)
•DC等離子體電源
•匹配網(wǎng)絡(luò)
•測(cè)試設(shè)備
•RF和DC配件
真空技術(shù)：
•不銹鋼真空管道和連接件
•單級(jí)、多級(jí)、特殊真空閥門(mén)
•加熱帶和加熱型閥門(mén)
•工藝元件
•真空規(guī)及傳感器