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新聞詳情
岱美中國(guó)成功拿到了采購(gòu)Filmetrics系列膜厚測(cè)量?jī)xF60t的訂單
日期:2025-01-09 16:49
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摘要:
日前,岱美中國(guó)拿到了采購(gòu)Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)xF60T的訂單。該客戶專(zhuān)注于為半導(dǎo)體、太陽(yáng)能和LED顯示照明企業(yè)提供******的刻蝕設(shè)備和薄膜設(shè)備,致力于提供**的設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。F60T主要用于檢測(cè)客戶生產(chǎn)設(shè)備的性能,包括檢測(cè)PEVCD的鍍膜厚度和檢測(cè)刻蝕機(jī)的刻蝕效果等。該客戶的設(shè)備主要用于集成電路的Fab廠商,例如中芯,華虹等。
F60T具有多點(diǎn)測(cè)試、自動(dòng)檢測(cè)、檢測(cè)速度快、測(cè)量精準(zhǔn)等優(yōu)點(diǎn),該款設(shè)備波長(zhǎng)范圍為380-1050nm,可檢測(cè)膜層厚度范圍在20nm-70um之間,具備自動(dòng)進(jìn)行基準(zhǔn)測(cè)量功能,樣品尺寸范圍為2寸至12寸,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用選取掃描點(diǎn)數(shù)進(jìn)行全圖掃描,也可根據(jù)實(shí)際需要作單線條厚度掃描,矩形掃描,或任意設(shè)定區(qū)域掃描,以49個(gè)點(diǎn)的掃面為例,僅需45秒鐘即可完成。
另外該系列產(chǎn)品有200nm-1700nm 不同波段的型號(hào)產(chǎn)品供客戶選擇,測(cè)試膜層厚度范圍自5nm至1mm.