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岱美中國與某非晶硅太陽能電池廠商簽訂MKS殘余氣體分析儀采購訂單
日期：2025-01-03 18:49
瀏覽次數(shù)：1356
摘要：
作為全球知名品牌MKS的授權(quán)經(jīng)銷商，2011年11月底，我們岱美中國與某非晶硅太陽能電池廠商簽訂MKS殘余氣體分析儀采購訂單。
該企業(yè)致力于研究、生產(chǎn)非晶硅太陽電池，為了改善設(shè)備完好率及產(chǎn)品成品率，他們選擇了MKS殘余氣體分析儀，用于監(jiān)測CVD生產(chǎn)工藝腔體殘余氣體成分，其檢測濃度可到達(dá)200ppb,檢測質(zhì)量范圍1-300AMU.
MKS殘余氣體分析儀被廣泛用于CVD，PVD工藝，用來追蹤不同工藝反應(yīng)室的清洗、鈍化和積淀過程中的不同種類氣體的含量水平，主要應(yīng)用在：
1.真空腔體內(nèi)殘余氣體掃描----Baseline scan
2.測漏----Leak Check
3.生產(chǎn)機(jī)臺定期維護(hù)流程改進(jìn)----PM optimization
4.制程氣體製程雜質(zhì)含量測量----Gas impurities
5.監(jiān)控【氣體流量控制器】伺服的穩(wěn)定性----MFC stability
6.終點(diǎn)偵測器----End-point detector
7.制程全程及時(shí)控制----In-situ process monitor
2.測漏----Leak Check
3.生產(chǎn)機(jī)臺定期維護(hù)流程改進(jìn)----PM optimization
4.制程氣體製程雜質(zhì)含量測量----Gas impurities
5.監(jiān)控【氣體流量控制器】伺服的穩(wěn)定性----MFC stability
6.終點(diǎn)偵測器----End-point detector
7.制程全程及時(shí)控制----In-situ process monitor