純氣體露點(diǎn)變送器Pura專為高度純凈的氣體應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量微量濕度而設(shè)計(jì)的經(jīng)濟(jì)型變送器
結(jié)構(gòu)堅(jiān)固的自給式濕度計(jì)
• 安裝簡(jiǎn)便
• 高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性
• 測(cè)量范圍*低達(dá)-120OC露點(diǎn),相當(dāng)于〈1 ppbV
• *佳**度為±1°C露點(diǎn)
• 4~20mA及RS 485輸出
• 半導(dǎo)體工業(yè)表面處理和清潔
類型:
密析爾Ceramic 陶瓷濕度變送器
測(cè)量范圍:
-120~-40°C 露點(diǎn) (標(biāo)定-100~-40°C)
**度:
-40~-60 范圍為±1°C;-61~-100 范圍
為±2°C; -101~120 范圍為±4°C(估)
分辨率:
-40~-79.9 范圍為01°C;-80~-100 范圍
為 1°C;;-100~-120 范圍為1~3°C
額定壓力:
*低為10-9torr;*高為24MPa
氣流率:
1~5 Nlmin-1
電子電路
電源:
額定24VDC,10V min., 28V max ,
25 mA max
輸出:
4-20mA可調(diào),使用提供的界面軟件調(diào)
調(diào)節(jié)范圍1~80°C
*大負(fù)載=1k Ω (28VDC 時(shí)),*小負(fù)
載=200Ω(10VDC 時(shí))(50Ω/v)
出錯(cuò)狀態(tài)顯示:
標(biāo)準(zhǔn)的出錯(cuò)誤狀況:
23m=變送器故障;20mA=超越測(cè)量
范圍;4mA=小于測(cè)量范圍。這些設(shè)置
能通過(guò)提供的軟件界面進(jìn)行調(diào)節(jié)
機(jī)械結(jié)構(gòu)
探頭:
冷拉不銹鋼,內(nèi)部0.1-0.2μm Ra鐳電鍍拋光
氣體連接口:
優(yōu)阻Premium和OEM 型-
1/4”外螺紋VCR 連接;
樸若Pura變送器-
1/2”外螺紋VCR 連接口
安裝:
優(yōu)阻Premium和OEM:
安裝方式為工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)120mm間距,
另有2 個(gè)M4 螺孔,0.7 螺距,孔深
7mm,孔間距20mm
裝入用戶的1/2”VCR連接口
外形尺寸:
優(yōu)阻Premium和OEM:120x35x150mm
樸若Pura變送器:132x35mm
重量:
優(yōu)阻Premium和OEM:450g
樸若Pura變送器:180g
包裝:
樸若Pura雙層包裝,UHP 惰性氣體密封
樸若Pura OEM 和樸若Pura 變送器:?jiǎn)?/span>
層包裝于1000gauge聚乙烯
為何要測(cè)量微量水分
在諸多高純凈氣體的應(yīng)用場(chǎng)合如半導(dǎo)體行業(yè),為了滿足工業(yè)過(guò)程的要求,氣體中殘留的微量水分是極為關(guān)鍵的參數(shù)。實(shí)踐操作中測(cè)量水分含量是非常困難的,因?yàn)槠陂g需要使用復(fù)雜的濕度分析儀或昂貴分析技術(shù)?,F(xiàn)在,密析爾給市場(chǎng)帶來(lái)了簡(jiǎn)便、經(jīng)濟(jì)而且高效率的露點(diǎn)在線測(cè)量的解決方案,*低露點(diǎn)溫度可測(cè)達(dá)-120OC(相當(dāng)于<1ppb)。樸若Pura 變送器匯集了密析爾生產(chǎn)和校驗(yàn)阻抗露點(diǎn)變送器方面的經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)知識(shí),并結(jié)合了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)選材和制造工藝,使之成為**款適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造工廠及高純凈氣體行業(yè)中的低價(jià)位變送器。
樸若Pura為何如此優(yōu)良??
樸若Pura 出色之處在它的簡(jiǎn)單。這種獨(dú)特設(shè)計(jì)的自給式變送器,能無(wú)停頓地在純氣體工業(yè)過(guò)程中**地工作,連續(xù)可靠地測(cè)量用戶需要的參數(shù)。樸若Pura的外殼由冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部采用0.25um鐳電拋光,能*大程度地避免水分吸附并符合氧氣標(biāo)準(zhǔn)。頂端套有1/4”外螺紋VCR 氣體連接口,起到清潔作用。出廠前的樸若Pura的清潔處理和雙層包裝,均在100 級(jí)潔凈室純惰性氣體密封環(huán)境下操作的。另外,發(fā)貨前儀表經(jīng)過(guò)精密校準(zhǔn),隨時(shí)能投入使用。校準(zhǔn)過(guò)的4~20mA 輸出可連接到過(guò)程顯示儀或中央控制系統(tǒng)?;?/span>通過(guò)485通訊接口輸出直接和合適的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)連接。產(chǎn)品的設(shè)計(jì)思路把把體積精簡(jiǎn)至*小,確保了在開(kāi)工準(zhǔn)備階段和可能發(fā)生的潮濕環(huán)境下,裝置能夠達(dá)到*快的反應(yīng)速度。變送器密封等級(jí)為10-9torr,而整個(gè)系統(tǒng)能夠承受VCR連接器等級(jí)*大值為24MPa。
用戶個(gè)人化定制信息
樸若Pura 出廠時(shí)就可隨時(shí)投入使用,它以10OC 露點(diǎn)為階段被**地校準(zhǔn),傳遞標(biāo)準(zhǔn)可溯源到NIST 和NPL,該產(chǎn)品能用戶個(gè)人化定制。用戶能將4~20mA 輸出設(shè)置在過(guò)程范圍中的任何一部分,*小跨度為1OC。同時(shí),出廠設(shè)置中預(yù)調(diào)了針對(duì)超出測(cè)量范圍、低于測(cè)量范圍以及變送器出錯(cuò)情況的警報(bào)信號(hào),用戶也能根據(jù)其應(yīng)用環(huán)境以及系統(tǒng)的需要輕松的進(jìn)行預(yù)調(diào)。
簡(jiǎn)易的安裝和操作
樸若Pura 的安裝過(guò)程很簡(jiǎn)單。1/4”外螺VCR 氣體連接口的間距為120mm,符合MFC Footprint 標(biāo)準(zhǔn)。整個(gè)部件高度僅為150mm,重量小于500g。樸若Pura為三線制變送器,工作過(guò)程中能非常靈活的操作,任何12~28V 的可調(diào)節(jié)的直流電源都能對(duì)其供電(*大電流為25mA)。
可靠性及技術(shù)支持
用于測(cè)量關(guān)鍵參數(shù)的儀表選型,需從可靠性及技術(shù)支持兩方面來(lái)斟酌考慮。密析爾在這兩方面都非常出色。撲若Pura采用的變送和測(cè)量技術(shù)在過(guò)去十年中已經(jīng)發(fā)展的很成熟。且已被數(shù)以萬(wàn)計(jì)的工業(yè)應(yīng)用場(chǎng)合所確認(rèn),而這些應(yīng)用場(chǎng)合往往是高度污染、強(qiáng)腐蝕和劇烈振動(dòng)以及極端溫度的環(huán)境。密析爾的陶瓷濕度傳感技術(shù)在全球范圍內(nèi)被大型工業(yè)設(shè)備生產(chǎn)制造商采用。萬(wàn)一用戶測(cè)量過(guò)程中出現(xiàn)了錯(cuò)誤,能通過(guò)密析爾全球范圍的網(wǎng)絡(luò)分支辦事處或是經(jīng)授權(quán)的銷售商得到技術(shù)支持,而且大部分都能為用戶提供校準(zhǔn)設(shè)備或現(xiàn)貨。此外他們擁有豐富的經(jīng)驗(yàn),能針對(duì)用戶的應(yīng)用場(chǎng)合提供*周到的技術(shù)支持。
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