海德漢公司的光學(xué)掃描型**值光柵尺或編碼器的測量基準(zhǔn)都是周期刻線－光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺基體為鋼帶。海德漢公司用特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵。
AURODUR：在鍍金鋼帶上蝕刻線條，典型柵距40 μmMETALLUR：抗污染的鍍金層金屬線，典型柵距20 μm
DIADUR：玻璃基體的*
硬鉻線（典型柵距20 μm）或玻璃基體的三維鉻線格柵（典型柵距8 μm）
SUPRADUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條，*
強(qiáng)抗污能力，典型柵距不*
過8μm
OPTODUR相位光柵：光學(xué)三維平面格柵線條，*
高反光性能，典型柵距不*
過2μm。
海德漢的產(chǎn)品在實(shí)際運(yùn)用中一直廣受客戶好評，無論是性能還是耐用性一直是行業(yè)*
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，接下來就介紹一下它的動(dòng)態(tài)性能。機(jī)床效率和機(jī)床性能的不斷提高必然要求更快的進(jìn)給速度和更高的加速度，同時(shí)還必須保持高水平的加工精度。要快速和準(zhǔn)確地傳遞進(jìn)給運(yùn)動(dòng)，就要求機(jī)床和直線光柵尺具有更高的剛性。
海德漢公司的直線光柵尺在測量方向的剛性非常高。這是機(jī)床能有高質(zhì)量和高精度運(yùn)動(dòng)的前提條件。此外，光柵尺優(yōu)良的動(dòng)態(tài)性能還來源于其運(yùn)動(dòng)部件重量的進(jìn)一步減輕。
德國海德漢heidenhain公司研發(fā)和生產(chǎn)高質(zhì)量直線光柵尺和角度編碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器、數(shù)顯裝置和數(shù)控系統(tǒng)。HEIDENHAIN公司的產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于精密機(jī)床、電子元件的生產(chǎn)和加工設(shè)備、自動(dòng)化機(jī)器系統(tǒng)，尤其是應(yīng)用于半導(dǎo)體和電子制造業(yè)等*
域。特殊的生產(chǎn)設(shè)施和測量設(shè)備造就了HEIDENHAIN的高質(zhì)量產(chǎn)品。光刻的主要和次主要生產(chǎn)過程都是在潔凈室里完成的，潔凈室里配備了特殊的溫度穩(wěn)定和防振動(dòng)隔離裝置。仿形機(jī)和其它生產(chǎn)直線和角度刻線用的機(jī)械設(shè)備都是由德國海德漢heidenhain公司自己研發(fā)和制造的。
**測量法是指編碼器通電時(shí)就可立即得到位置值并隨時(shí)供后續(xù)信號處理電子電路讀取。無需移軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。**位置信息來自一系列**碼構(gòu)成的光柵刻線。單*
的增量刻軌信號通過細(xì)分生成位置值，同時(shí)也能生成供選用的增量信號。增量測量法的光柵由周期性刻線組成。位置信息通過計(jì)算自某點(diǎn)開始的增量數(shù)獲得。由于必須用**參考點(diǎn)確定位置值，因此在光柵尺或光柵尺帶上還刻有一個(gè)帶參考點(diǎn)的軌道。參考點(diǎn)確定的光柵尺**位置值可以準(zhǔn)確
到一個(gè)測量步距。
