MA-60F日本MIKASA米卡薩光刻機(jī) - MaskAligner

■ MA-60F日本MIKASA米卡薩光刻機(jī) - MaskAligner特點(diǎn)■ 手動(dòng)操作、接觸式對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)。■ 依照不同需求以及成本考量?有準(zhǔn)直儀型?多面鏡型?整合（積算器）型三種曝光光源。■ 有可對(duì)應(yīng)5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各類機(jī)種。■ Mask Holder?載臺(tái)的更換作業(yè)簡單易行，可在1分鐘內(nèi)完成，適合用于研究開發(fā)。■ 對(duì)準(zhǔn)顯微鏡的對(duì)物鏡可對(duì)應(yīng)高對(duì)準(zhǔn)精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三種。

■ MA-60F日本MIKASA米卡薩光刻機(jī) - MaskAligner共通規(guī)格接觸方法軟性接觸/ 硬性接觸（ 部分選配）對(duì)準(zhǔn)精度使用對(duì)物鏡20×?xí)r<1.2μm（M-1S除外）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡雙視野顯微鏡 對(duì)物鏡間隔18~60mm（M-1S除外）曝光波長多頻率（h.i.g線）

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