摘要：株式會社小坂研究所（KOSAKA） 臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器 ：根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。測量原理是：當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號；再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。