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RKC理化工業(yè)主要有應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)品

日期:2025-01-09 14:25
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摘要:理化工業(yè)株式會社(rkc)在工業(yè)控制儀器領(lǐng)域以其獨(dú)特的科研以其的科研與開發(fā)為先導(dǎo),使公司的規(guī)模不斷地發(fā)展壯大。rkc早期生產(chǎn)電子管控制器,隨后又開發(fā)出了晶體管控制器、節(jié)能型控制器等眾多產(chǎn)品。這些產(chǎn)品在相應(yīng)的歷史時期中均受到了廣大用戶的歡迎與認(rèn)可。rkc為適應(yīng)新的市場需求,開發(fā)出了以微機(jī)為基礎(chǔ)的多功能控制器,它是中、小型一起、設(shè)備中的基本器材。rkc正在開發(fā)有銷售跨世紀(jì)的控制設(shè)備。 rkc的控制技術(shù)早源于塑料工業(yè),而現(xiàn)在rkc的產(chǎn)品在科技設(shè)備、半導(dǎo)體制造業(yè)、空調(diào)、紡織工業(yè)、食品工業(yè)、汽車制造、橡膠工業(yè)、電纜電線工業(yè)等眾多領(lǐng)域中均贏得了極高的贊譽(yù)。 rkc的控制技術(shù)早源于塑料工業(yè),而現(xiàn)在rkc的產(chǎn)品在科技設(shè)備、半導(dǎo)體制造業(yè)、空調(diào)、紡織工業(yè)、食品工業(yè)、汽車制造、橡膠工業(yè)、電纜電線工業(yè)等眾多領(lǐng)域中均贏得了極高的贊譽(yù)。除傳統(tǒng)單回路控制器外,rkc還開發(fā)推出了溫度、濕度、程序以及工廠整體控制的綜合控制系統(tǒng)以滿足新的市場需求。 rkc根據(jù)日益變化的市場需求,現(xiàn)已由溫度控制器擴(kuò)展為綜合性控制設(shè)備。rkc推出的高科技產(chǎn)品中,引入了微處理機(jī)和主機(jī)數(shù)字接口等技術(shù),使其產(chǎn)品在工廠自動化中起到了非常重要的

理化工業(yè)株式會社(rkc)在工業(yè)控制儀器領(lǐng)域以其獨(dú)特的科研以其的科研與開發(fā)為先導(dǎo),使公司的規(guī)模不斷地發(fā)展壯大。rkc早期生產(chǎn)電子管控制器,隨后又開發(fā)出了晶體管控制器、節(jié)能型控制器等眾多產(chǎn)品。這些產(chǎn)品在相應(yīng)的歷史時期中均受到了廣大用戶的歡迎與認(rèn)可。rkc為適應(yīng)新的市場需求,開發(fā)出了以微機(jī)為基礎(chǔ)的多功能控制器,它是中、小型一起、設(shè)備中的基本器材。rkc正在開發(fā)有銷售跨世紀(jì)的控制設(shè)備。
rkc的控制技術(shù)早源于塑料工業(yè),而現(xiàn)在rkc的產(chǎn)品在科技設(shè)備、半導(dǎo)體制造業(yè)、空調(diào)、紡織工業(yè)、食品工業(yè)、汽車制造、橡膠工業(yè)、電纜電線工業(yè)等眾多領(lǐng)域中均贏得了極高的贊譽(yù)。
rkc的控制技術(shù)早源于塑料工業(yè),而現(xiàn)在rkc的產(chǎn)品在科技設(shè)備、半導(dǎo)體制造業(yè)、空調(diào)、紡織工業(yè)、食品工業(yè)、汽車制造、橡膠工業(yè)、電纜電線工業(yè)等眾多領(lǐng)域中均贏得了極高的贊譽(yù)。除傳統(tǒng)單回路控制器外,rkc還開發(fā)推出了溫度、濕度、程序以及工廠整體控制的綜合控制系統(tǒng)以滿足新的市場需求。
rkc根據(jù)日益變化的市場需求,現(xiàn)已由溫度控制器擴(kuò)展為綜合性控制設(shè)備。rkc推出的高科技產(chǎn)品中,引入了微處理機(jī)和主機(jī)數(shù)字接口等技術(shù),使其產(chǎn)品在工廠自動化中起到了非常重要的作用


燈退火等高速升溫控制


高速升溫時使用高速采樣的控制器和快速響應(yīng)調(diào)節(jié)器

>>優(yōu)點(diǎn)介紹


  • 用高速升溫的溫度控制可以抑制超調(diào),提高生產(chǎn)性。


典型對應(yīng)機(jī)器

數(shù)字顯示控制器(過程/溫度控制器)
FZ110 / FZ400 / FZ900

  • 測量精度:顯示值的±0.1%
  • 取樣周期:0.05秒
  • 11段5位數(shù)字顯示
  • 對應(yīng)前面專用通信
  • 2輸入功能(FZ400/FZ900)
  • 插件構(gòu)造(FZ400/FZ900)

功率調(diào)節(jié)器
THV

利用4~20mA等模擬量信號,連續(xù),精密地控制加熱器功率供給的設(shè)備??梢赃x擇控制電壓波形的相位控制方式,或者控制電源周期,低干擾的零交叉控制方式。
相位控制方式,有軟啟動功能可以控制浪涌電流較大的加熱器或者變壓器一次側(cè)。



擴(kuò)散爐的串級溫度控制


希望溫度控制的部分和熱源之間有較大時間滯后時,采用串級溫度控制。一次控制器(主)的控制輸出,輸入給二次控制器(從)。二次控制器,利用一次控制器的輸出不斷修正溫度設(shè)定值,進(jìn)行熱源溫度控制。 用1臺FZ400 / FZ900可以實(shí)現(xiàn)串級控制。






>>優(yōu)點(diǎn)介紹


  • 可以抑制有時間滯后的控制系統(tǒng)的超調(diào)
  • 一臺FZ400 / FZ900可以實(shí)現(xiàn)串級控制


典型對應(yīng)機(jī)器

數(shù)字顯示控制器(過程/溫度控制器)
FZ(FZ400/FZ900)

  • 測量精度:顯示值的±0.1%
  • 取樣周期:0.05秒
  • 11段5位數(shù)字顯示
  • 對應(yīng)前面專用通信
  • 2輸入功能(FZ400/FZ900)
  • 插件構(gòu)造(FZ400/FZ900)

単相電力調(diào)整器
THV

利用4~20mA等模擬量信號,連續(xù),精密地控制加熱器功率供給的設(shè)備??梢赃x擇控制電壓波形的相位控制方式,或者控制電源周期,低干擾的零交叉控制方式。相位控制方式,有軟啟動功能可以控制浪涌電流較大的加熱器或者變壓器一次側(cè)。




OLED/LCD大型燒結(jié)爐用多點(diǎn)溫度控制

OLED/LCD面板燒結(jié)工序中,面板大型化導(dǎo)致燒成爐的溫度控制點(diǎn)數(shù)增加。用模塊控制器可以構(gòu)筑小型多點(diǎn)溫度控制。



優(yōu)點(diǎn)介紹

  • 顯示和操作集中在觸摸屏上,可以構(gòu)筑容易管理的控制系統(tǒng)
  • 電源和通信線集成在連接器中能節(jié)省連接線



典型對應(yīng)機(jī)器

系統(tǒng)控制器的工程設(shè)計(jì)
(觸摸屏+PLC)

  • 多點(diǎn)溫度控制的監(jiān)視,操作集成在觸摸屏上,可以構(gòu)筑容易管理的系統(tǒng)

※可以支持包括PLC在內(nèi)整體設(shè)備的系統(tǒng)構(gòu)筑

模塊型控制器(過程/溫度控制器)
SRZ

  • 測量精度:顯示值的±0.2%
  • 取樣周期:0.25秒
  • 1臺能控制4通道
  • 對應(yīng)前面專用通信
  • 插件構(gòu)造
  • 提供數(shù)字輸入輸出·CT輸入模塊
  • 能連接各種現(xiàn)場總線的通信變換器



濕式處理站藥液的溫度,液位管理

在半導(dǎo)體制造的刻蝕,清洗工藝中高腐蝕性 藥液被使用。藥液的溫度,液面的液位測量時高耐蝕性的傳感器被使用




>>優(yōu)點(diǎn)介紹


 

  • 可以測量腐蝕應(yīng)藥液的溫度,液面的液位,液位檢測


典型對應(yīng)機(jī)器

PFA包皮溫度傳感器
FR-100(鉑電阻)/ FT-100(熱電偶)

鉑電阻或者熱電偶的PFA管包覆對應(yīng)藥液溫度傳感器。電線也被PFA管包覆實(shí)現(xiàn)優(yōu)良的耐蝕性。

※照片是FR-100

背壓式液位計(jì)
LE100 / LE110

  • 用1根導(dǎo)管測量液位和輸出8點(diǎn)液位警報(bào)
  • 導(dǎo)管上的附著物等不影響測量精度
  • 配備比重補(bǔ)償功能(不需要實(shí)際液體)和一鍵式空載調(diào)整功能
  • 除液位計(jì)之外,可用作夜量計(jì)和壓力計(jì)
  • LE110在氛圍氣壓變動的環(huán)境也可以測量

數(shù)字顯示控制器(溫度控制器)
RS系列(RS100 / RS400)

  • 測量精度:顯示值的±0.2%
  • 取樣周期:0.25秒
  • 插件構(gòu)造



測量燒結(jié),接著玻璃基板時的溫度分布


通過測量燒結(jié),接著時玻璃基板的溫度分布,或者粘合玻璃基板的溫度,可以核實(shí)收集溫度曲線或者獲得*適溫度




>優(yōu)點(diǎn)介紹


  • 瞬間實(shí)時測量溫度分布,*適于收集溫度曲線


典型對應(yīng)機(jī)器

粘貼型溫度傳感器
ST-50

  • 粘貼在微小表面上即可容易測量溫度
  • 優(yōu)良的響應(yīng)性能*適合于采集溫度數(shù)據(jù)
  • *適合于測量夾層溫度的前端剝出型



驗(yàn)證功率模塊的散熱設(shè)計(jì)


測量半導(dǎo)體功率模塊實(shí)際使用時的溫度可以實(shí)現(xiàn)以零件為單位的溫度測量??梢匀菀诇y量微小零件的溫度。





>>優(yōu)點(diǎn)介紹


  • 可以測量微小零件的溫度,驗(yàn)證散熱設(shè)計(jì)。





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