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- 產(chǎn)品名稱：SIMCO思美高 超潔凈工藝設(shè)備型靜態(tài)欄
- 產(chǎn)品型號(hào)：超潔凈工藝設(shè)備型號(hào)5225 AeroBar
- 產(chǎn)品展商：SIMCO思美高
- 產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2018-08-16
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簡(jiǎn)單介紹
廠家直銷 SIMCO思美高 超潔凈工藝設(shè)備型號(hào)5225 AeroBar 思美高靜態(tài)欄
5225型Aerober離子發(fā)生器是一種棒式離子發(fā)生器，專門(mén)設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體等超潔凈工藝設(shè)備。
廠家直銷 SIMCO思美高 超潔凈工藝設(shè)備型號(hào)5225 AeroBar 思美高靜態(tài)欄
SIMCO思美高 超潔凈工藝設(shè)備型靜態(tài)欄
SIMCO思美高 超潔凈工藝設(shè)備型靜態(tài)欄
產(chǎn)品描述
特點(diǎn)
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在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導(dǎo)致金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)
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通過(guò)脈沖DC方法實(shí)現(xiàn)廣泛的靜電消除能力
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由全數(shù)字電路控制，更穩(wěn)定的離子產(chǎn)生和長(zhǎng)離子平衡
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通過(guò)安裝5200-SR外部傳感器附近的中和目標(biāo)（可選），而不是離子發(fā)生器條體，當(dāng)在中和目標(biāo)的反饋控制可能的附近的離子平衡（5200-SR未連接，電離器棒體內(nèi)置傳感器是離子平衡自動(dòng)調(diào)整）
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設(shè)置與半導(dǎo)體前端EFEM對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度條
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可以在很寬的范圍內(nèi)設(shè)置離子發(fā)生輸出，離子發(fā)生時(shí)間，報(bào)警閾值等各種參數(shù)，實(shí)現(xiàn)靈活的通信，如長(zhǎng)距離應(yīng)用和弱氣流環(huán)境
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僅通過(guò)輸入?yún)?shù)的數(shù)值就可以獲得高重復(fù)性，并且可以在短時(shí)間內(nèi)設(shè)置
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除了簡(jiǎn)單的報(bào)警IO之外，還可以通過(guò)免費(fèi)DLL使用進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，有助于掌握過(guò)程設(shè)備中的狀態(tài)
規(guī)范
5225型AeroBar
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輸入電壓
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24 V AC，50/60 Hz，1 W Typ。由IM6T提供。
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溝通形式
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RS485（IM6T和5225之間）
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輸出電壓
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0 kv至約+/- 20 kv
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輸出表格
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脈沖直流模式，穩(wěn)態(tài)直流模式（可選）
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輸出電流
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<15 micro A內(nèi)置電流和電壓限制電路
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接頭連接器
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RJ 11,4極4芯
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離子發(fā)生時(shí)間
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*小0.1秒，*長(zhǎng)10秒可單獨(dú)設(shè)置正負(fù)
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電極
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單晶硅電極可更換
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臭氧產(chǎn)生量
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<0.005 ppm（24小時(shí)綜合測(cè)量）
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清潔度相應(yīng)
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ISO Class 1,0.1微米
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維
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高53 mm x深31 mm x長(zhǎng)569 mm（-22），721 mm（-28），
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907毫米（-36），1128毫米（-44），1412毫米（-56），1636毫米（-64），
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1918毫米（-76）和2144毫米（-84）
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重量
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-22：每增加一個(gè)長(zhǎng)度1.02千克/0.17千克/ 30厘米
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外觀
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ABS樹(shù)脂
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接口模塊型號(hào)5200-IM6T
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輸入電壓
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24 V DC +/- 5％，1.5 A.
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溝通形式
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以太網(wǎng)，RS232C
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報(bào)警輸出
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中繼聯(lián)系（僅適用于4.0或更高版本）
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維
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高74毫米x深71毫米x長(zhǎng)315毫米
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重量
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2公斤
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