- 如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：授權(quán)廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器
- 產(chǎn)品型號(hào)：AeroBarMP Model 5635
- 產(chǎn)品展商：SIMCO思美高
- 產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔
- 發(fā)布時(shí)間：2018-08-16
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簡(jiǎn)單介紹
授權(quán)廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器
5635型Aerobar MP離子發(fā)生器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品，適用于需要100 nm或更低微粒度管理的場(chǎng)所的靜電消除，包括先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝
授權(quán)廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器
產(chǎn)品描述
特點(diǎn)
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在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導(dǎo)致金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)
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通過原始MP（脈沖調(diào)制）方法將離子有效地帶到目標(biāo)的高效靜電消除
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即使在100 mm距離和離子平衡下也可以使用的小電位擺動(dòng)特性，在棒長(zhǎng)度上幾乎沒有偏差
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離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡由智能控制電路自動(dòng)管理
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可旋轉(zhuǎn)1/4旋轉(zhuǎn)的可更換電極有助于減少維護(hù)工時(shí)
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由于MP系統(tǒng)的特性，潛在的擺動(dòng)非常小，因此設(shè)置簡(jiǎn)單。此外，小電位擺動(dòng)有效地保持了管理標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的長(zhǎng)期離子平衡
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設(shè)置與半導(dǎo)體前端EFEM對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度條
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緊湊的24 V DC驅(qū)動(dòng)控制器設(shè)計(jì)
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全球范圍內(nèi)提供上等支持網(wǎng)絡(luò)
規(guī)范
型號(hào)5635 AeroBar MP
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輸入電壓
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24 V DC +/- 10％
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輸出電壓
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高達(dá)約13.5kv pp可調(diào)
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安裝距離
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100毫米至1000毫米（無空氣吹掃）
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離子發(fā)生方法
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電暈放電方法
MP（脈沖調(diào)制）方法調(diào)制頻率1至33 Hz
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離子平衡
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自動(dòng)平衡調(diào)整方法
<+/- 10 V由于直接位于條形下方的位置<+/- 10 V
（600 mm距離）
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電極
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單晶硅電極可更換
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吹掃氣體
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清潔干燥空氣或N 2
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*大吹掃壓力
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310 Kpa
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臭氧量
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<0.05 ppm（24小時(shí)積分值）
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信號(hào)輸出
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報(bào)警IO開路集電極輸出
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維
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高度78 mm x深度34 mm x長(zhǎng)度如下
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450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
mm
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外觀
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ABS樹脂
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擴(kuò)展的ISO Class 1,10 nm？
對(duì)于擴(kuò)展ISO Class1,10nm？這是為了自己的確定級(jí)別的ION系統(tǒng)的清潔度，以應(yīng)對(duì)微小粒子管理的定義。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一個(gè)粒徑10nm的
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