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技術(shù)文章

MITUTOYO三豐HYPER QUICK VISION WLI帶有白光干涉儀的視覺測(cè)量機(jī)

MITUTOYO三豐HYPER QUICK VISION WLI帶有白光干涉儀的視覺測(cè)量機(jī)

MITUTOYO三豐HYPER QUICK VISION WLI帶有白光干涉儀的視覺測(cè)量機(jī)

MITUTOYO三豐HYPER QUICK VISION WLI帶有白光干涉儀的視覺測(cè)量機(jī)

拡大撮像により、測(cè)定物の微細(xì)形狀を測(cè)定します
主な特長(zhǎng)
Hyper QVWLIはQVに白色光干渉計(jì)を搭載した複合型の高
精度3D計(jì)測(cè)システムです。
WLI 光學(xué)系で取得した3Dデータから三次元表面性狀解析/
三次元粗さ解析が可能です。
3Dデータから指定高さでの寸法測(cè)定や斷面形狀の測(cè)定が可能です。
仕様
符號(hào) QVW-H302P1L-D QVW-H404P1L-D QVW-H606P1L-D
測(cè)定範(fàn)囲(XxYxZ)(mm)
300×200×190
400×400×240
600×650×220
*小表示量(μm)
0.01
0.01
0.01
WLI畫像 共通測(cè)定範(fàn)囲(XxYxZ)(mm)
215×200×190
315×400×240
515×650×220
測(cè)定精度(E1XY軸)(um)
（0.8＋2L/1000）
（0.8＋2L/1000）
（0.8＋2L/1000）
測(cè)定精度(E1Z軸)(um)
（1.5＋2L/1000）
（1.5＋2L/1000）
（1.5＋2L/1000）
測(cè)定精度(E2XY平面)(um)
（1.4＋3L/1000）
（1.4＋3L/1000）
（1.4＋3L/1000）
カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
観察裝置
プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系
プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系
プログラム制御パワータレット　1X,2X,6X系
照明 垂直落射照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 透過照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 リング照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 WLIヘッド_垂直落射照明
ハロゲン
ハロゲン
ハロゲン
溫度補(bǔ)正機(jī)能
自動(dòng)溫度補(bǔ)正
自動(dòng)溫度補(bǔ)正
自動(dòng)溫度補(bǔ)正
使用空気圧(MPa)
0.4
0.4
0.4
精度保証 光學(xué)條件
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
精度保証 溫度(℃)
20±1
20±1
20±1
精度保証 溫度変化(℃/H)
0.5/1
0.5/1
0.5/1
測(cè)定物 *大積載質(zhì)量(kg)
15
25
35
本體質(zhì)量(設(shè)置臺(tái)含む)(kg)
490
1160
2275
載物ガラス寸法(mm)
399×271
493×551
697×785
本體外観寸法(WxDxH)(mm)
859×951×1609
1027×1407×1780.5
1309×1985×1792

QVW-H302P1L-D QVW-H404P1L-D QVW-H606P1L-D