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技術(shù)文章

MITUTOYO三豐視覺(jué)測(cè)量機(jī)QUICK VISION HYBRID TYPE1 APEX帶非接觸式位移傳感器

MITUTOYO三豐視覺(jué)測(cè)量機(jī)QUICK VISION HYBRID TYPE1 APEX帶非接觸式位移傳感器

MITUTOYO三豐視覺(jué)測(cè)量機(jī)QUICK VISION HYBRID TYPE1 APEX帶非接觸式位移傳感器

MITUTOYO三豐視覺(jué)測(cè)量機(jī)QUICK VISION HYBRID TYPE1 APEX帶非接觸式位移傳感器

非接觸変位センサを搭載しスキャニング機(jī)能により微細(xì)段差や3 D 形狀測(cè)定を可能にした複合測(cè)定機(jī)です

主な

特長(zhǎng)

非接觸変位センサを搭載しスキャニング機(jī)能により微細(xì)段差や3D形狀測(cè)定を可能にした複合測(cè)定機(jī)です。
変位センサの検出方式にダブルピンホール方式を採(cǎi)用しました。ナイフエッジ式や三角測(cè)量方式と比較して指向性のない測(cè)定が可能です。
レーザスポット徑が約2 μmと小さいため微細(xì)な形狀測(cè)定が可能です。
仕様
符號(hào) QVH1-X302P1L-D QVH1-X404P1L-D QVH1-X606P1L-D
測(cè)定範(fàn)囲(XxYxZ)(mm)
300×200×200
400×400×250
600×650×250
*小表示量(μm)
0.1
0.1
0.1
変位センサ畫(huà)像 共通測(cè)定範(fàn)囲(XxYxZ)mm(HYBRID TYPE1)
180×200×200
280×400×250
480×650×250
測(cè)定精度(E1XY軸)(um)
（1.5＋3L/1000）
（1.5＋3L/1000）
（1.5＋3L/1000）
測(cè)定精度(E1Z軸)(um)
（1.5＋4L/1000）
（1.5＋4L/1000）
（1.5＋4L/1000）
測(cè)定精度(E2XY平面)(um)
（2.0＋4L/1000）
（2.0＋4L/1000）
（2.0＋4L/1000）
変位センサ(E1Z軸)(um)
（1.5＋4L/1000）
（1.5＋4L/1000）
（1.5＋4L/1000）
カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
CCD白黒カメラ
観察裝置
プログラム制御パワータレット　1X-2X-6X
プログラム制御パワータレット　1X-2X-6X
プログラム制御パワータレット　1X-2X-6X
照明 垂直落射照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 透過(guò)照明
白色LED
白色LED
白色LED
照明 リング照明
白色LED
白色LED
白色LED
使用空気圧(MPa)
0.2
0.2
0.2
精度保証 光學(xué)條件
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
対物レンズ2.5x(パワータレット2x)
精度保証 溫度(℃)
20±1
20±1
20±1
精度保証 溫度変化(℃/H)
2/8
2/8
2/8
測(cè)定物 *大積載質(zhì)量(kg)
20
40
50
本體質(zhì)量(設(shè)置臺(tái)含む)(kg)
370
589
1460
載物ガラス寸法(mm)
399×271
493×551
697×758
本體外観寸法(WxDxH)(mm)
859×951×1609
1027×1407×1778
1309×1985×1794
QVH1-X302P1L-D QVH1-X404P1L-D QVH1-X606P1L-D