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第9年
- 入駐時(shí)間： 2015-09-25
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
使用共焦光學(xué)系統(tǒng)可以高精度測(cè)量高度，寬度和形狀。
實(shí)現(xiàn)在線自動(dòng)3D測(cè)量
在寬視野中的高分辨率觀察，這是CD-SEM等無(wú)法獲得的。
詳情介紹：
特征
- 使用共焦光學(xué)系統(tǒng)可以高精度測(cè)量高度，寬度和形狀。
- 實(shí)現(xiàn)在線自動(dòng)3D測(cè)量
- 在寬視野中的高分辨率觀察，這是CD-SEM等無(wú)法獲得的。
采用
- TSV過(guò)程中凸塊的高度，寬度和形狀的測(cè)量和檢查
- 觀察和檢查鍵合晶片變薄后的外周，以及優(yōu)化和管理變薄過(guò)程的條件
- 觀察和測(cè)量晶片表面上的異物和拋光痕跡
規(guī)范
| 設(shè)備主體尺寸 | 約1450mm（W）x 2800mm（D）x 2100mm（H） |
|---|---|
| 晶圓要檢查 | *高300mm晶圓 |
