| 2、1/2"節(jié)點壓力調(diào)節(jié)閥 |
| 大宗氣體系統(tǒng)及氣柜壓力調(diào)節(jié)閥 |
|
|
|
|
|
產(chǎn)品系列及特性 |
輸入壓力
|
輸出壓力
|
允許內(nèi)泄漏*
|
流量范圍 |
閥體材料 |
|
|
64-2600 單級壓力、超高純度 |
| ·5Ra或10Ra微英寸拋光 |
3500PSIG
|
30,60,100,
|
<1×10-9
|
0-100SLPM |
316L不銹鋼 |
| ·自由閥芯設(shè)計 |
|
250,500PSIG
|
|
|
或316L不銹 |
| ·電解拋光或內(nèi)表面電解拋光 |
|
|
|
|
鋼VAR |
| ·Cv=.06 |
|
|
|
|
|
| 64-2800 單級壓力、超高純度，固定隔板 |
| ·固定隔板設(shè)計 |
3500,1000
|
30,60,100,
|
<1×10-9
|
0-100SLPM |
316L不銹鋼 |
|
|
·5Ra或10Ra微英寸拋光 |
PSIG
|
150PSIG
|
|
|
或316L不銹 |
| ·可供Hastelloy鎳合金部件 |
|
|
|
|
鋼VAR |
| ·Cv=.06（*大入口壓力3500PSIG） |
|
|
|
|
| ·Cv=.15（*大入口壓力1000PSIG） |
|
|
|
|
| 64-3200 單級壓力、超高純度，高流量，BSGS |
| ·固定隔板設(shè)計 |
1500,1000
|
30,60,100,
|
<1×10-9
|
0-900SLPM |
316L不銹鋼 |
| ·10Ra微英寸拋光 |
PSIG
|
150,200PSIG
|
|
|
|
| ·可供Hastelloy鎳合金部件 |
|
|
|
|
|
| ·Cv=1.2 |
|
|
|
|
|
 |
64-3400 兩級壓力、超高純度 |
| ·兩級減壓 |
3500PSIG
|
30,60,100,
|
<1×10-9
|
0-80SLPM |
316L不銹鋼 |
| ·10Ra微英寸拋光 |
|
150PSIG
|
|
|
|
| ·自由閥芯或固定隔板設(shè)計 |
|
|
|
|
|
| ·可供Hastelloy鎳合金部件 |
|
|
|
|
|
| ·Cv=.06或.15 |
|
|
|
|
|
| 64-3600 單級壓力、超高純度、低衰減 |
| ·高度靈敏 |
3500PSIG
|
30,60,100,
|
<1×10-9
|
0-100SLPM |
316L不銹鋼 |
| ·10Ra微英寸拋光 |
|
150PSIG
|
|
|
|
| ·自由閥芯或固定隔板設(shè)計 |
|
|
|
|
|
| ·可供Hastelloy鎳合金部件 |
|
|
|
|
|
| ·Cv=.06或.15 |
|
|
|
|
|
| 64-5000 單級壓力、超高純度、**壓力 |
| ·負(fù)壓至正壓 |
3500,600,
|
28"Hg-15,30,
|
<1×10-9
|
0-5SLPM |
316L不銹鋼 |
|
·5Ra或10Ra微英寸拋光 |
120PSIG
|
60,100PSIG
|
|
|
或316L不銹 |
| ·Cv=.06（*大入口壓力3500PSIG） |
|
|
|
鋼VAR |
| ·Cv=.15（*大入口壓力600PSIG） |
|
|
|
|
|
| ·Cv=.24（*大入口壓力120PSIG） |
|
|
|
|
|
| 74-300A 單級壓力、超高純度、**壓力 |
| ·自由閥芯設(shè)計 |
300PSIG
|
28"Hg-15PSIG
|
<1×10-9
|
0-20SLPM |
316L不銹鋼 |
| ·無內(nèi)螺紋 |
|
|
|
|
VAR |
| ·5Ra或10Ra微英寸拋光 |
|
|
|
|
|
| ·Cv=.5 |
|
|
|
|
|
|
MR-2400 單級壓力、超高純度 |
|
|
|
|
|
·固定隔板設(shè)計 |
3500PSIG
|
30,60,100,
|
<1×10-9
|
0-100SLPM |
316L不銹鋼 |
|
·內(nèi)部無彈簧、無螺紋 |
|
PSIG
|
|
|
VAR |
|
·5Ra微英寸拋光 |
|
|
|
|
|
|
·精密電解拋光 |
|
|
|
|
|
|
·Cv=.06 |
|
|
|
|
|
 |
74-3800 單級壓力、超高純度、高流量 |
|
|
|
|
| ·固定隔板設(shè)計 |
3500,600,
|
30,60,100,
|
<1×10-9
|
0-500SLPM |
316L不銹鋼 |
| ·內(nèi)部無彈簧、無螺紋 |
600PSIG
|
PSIG
|
|
|
VAR |
| ·5Ra或10Ra微英寸拋光 |
|
|
|
|
|
| ·精密電解拋光 |
|
|
|
|
|
| ·Cv=.5 |
|
|
|
|
|
| 449-254單級壓力、高壓、BSGS |
|
|
|
|
| ·自由閥芯設(shè)計 |
1500PSIG
|
400PSIG
|
<1×10-9
|
0-900SLPM |
316L不銹鋼 |
| ·10Ra微英寸拋光 |
|
|
|
|
VAR |
| ·可供Hastelloy鎳合金部件 |
|
|
|
|
|
| ·Cv=1.0 |
|
|
|
|
|
|
*單位為大氣壓·毫升/秒氦氣 |
|
