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住友直立型臭氧發(fā)生器

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產(chǎn)品名稱：住友直立型臭氧發(fā)生器
產(chǎn)品型號(hào)：GRC-Series
產(chǎn)品展商：其它品牌
產(chǎn)品文檔：無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

住友直立型臭氧發(fā)生器住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。住友直立型臭氧發(fā)生器

產(chǎn)品描述

住友直立型臭氧發(fā)生器

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友直立型臭氧發(fā)生器

住友直立型臭氧發(fā)生器應(yīng)用：

1. 半導(dǎo)體器件

2. Si/復(fù)合晶圓

3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）

4. 光罩

5. 發(fā)光二極管

特征：

高濃度；高達(dá)400g/m3（N）

19英寸機(jī)架尺寸標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)

豐富的產(chǎn)品線；小容量到大容量

高壓耐受，長(zhǎng)壽命放電單元

快速啟動(dòng)，快速響應(yīng)

與臭氧監(jiān)測(cè)儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度

CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用

管道材料；從316LSS或PFA中選擇

具體規(guī)格

臭氧氣體流速

1L/min to 24L/min
[at 210g/m3(N)]

臭氧氣體供應(yīng)壓力

*大0.2MPa

冷卻水溫度

20°C±2°C

氮摻雜比

0.1%(volume)against oxygen

尺寸

W483mm x D453mm x H266mm

重量

30 到 45kg

功率

200-220VAC, 3-phase

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