住友臭氧發(fā)生儀器
住友臭氧發(fā)生儀器應(yīng)用:
1. 半導(dǎo)體器件
2. Si/復(fù)合晶圓
3. FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
4. 光罩
5. 發(fā)光二極管
住友臭氧發(fā)生儀器具體規(guī)格
臭氧氣體流速
1.6L/min [at 210g/m3(N)]
臭氧氣體供應(yīng)壓力
*大0.3MPa
冷卻水溫度
20°C±2°C
尺寸
W210mm x D350mm x H500mm
重量
17kg
功率
200-220VAC/100-110VAC, 1-phase
優(yōu)勢:
高濃度;高達(dá)400g/m3(N),高壓;*大0.3Mpa
內(nèi)置式小機(jī)組,功能少,價格低
高壓耐受,長壽命放電單元
快速啟動,快速響應(yīng)
蘇公網(wǎng)安備 32028102000821號