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產(chǎn)品資料

住友臭氧發(fā)生儀器

住友臭氧發(fā)生儀器
  • 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
  • 產(chǎn)品名稱:住友臭氧發(fā)生儀器
  • 產(chǎn)品型號:SGVP-440
  • 產(chǎn)品展商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:無相關(guān)文檔
簡單介紹
住友臭氧發(fā)生儀器 住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。 住友臭氧發(fā)生儀器
產(chǎn)品描述
住友臭氧發(fā)生儀器

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友臭氧發(fā)生儀器



住友臭氧發(fā)生儀器應(yīng)用:

1. 半導(dǎo)體器件

2. Si/復(fù)合晶圓

3. FDPLTPSHTPS、TFT、彩色濾光片、OLED

4. 光罩

5. 發(fā)光二極管

 

住友臭氧發(fā)生儀器具體規(guī)格


臭氧氣體流速

1.6L/min [at 210g/m3(N)]

臭氧氣體供應(yīng)壓力

*大0.3MPa

冷卻水溫度

20°C±2°C

 

尺寸

W210mm x D350mm x H500mm

重量

17kg

功率

200-220VAC/100-110VAC, 1-phase



優(yōu)勢:

高濃度;高達(dá)400g/m3N),高壓;*大0.3Mpa

內(nèi)置式小機(jī)組,功能少,價格低

高壓耐受,長壽命放電單元

快速啟動,快速響應(yīng)



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