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住友臭氧水裝置

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
產(chǎn)品名稱：住友臭氧水裝置
產(chǎn)品型號(hào)：SGXF
產(chǎn)品展商：其它品牌
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

住友臭氧水裝置住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。住友臭氧水裝置

產(chǎn)品描述

住友臭氧水裝置

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友臭氧水裝置

應(yīng)用：

半導(dǎo)體器件

Si/復(fù)合晶圓

FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）

光罩

發(fā)光二極管

具體信息：

溶解臭氧濃度	5 to 30ppm
臭氧化超純水流量	1 to 60L/min
原料氣	氧氣、二氧化碳
功率	200-220VAC, 3-phase

優(yōu)勢(shì)：

根據(jù)所需流量改變流量。（降低超純水消耗量）

多室電源

采用噴射溶解法快速反應(yīng)。

與臭氧監(jiān)測(cè)儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度

無氮臭氧水

運(yùn)行成本低（功耗低，易損件數(shù)量少，放電單元壽命長）

高壓耐受，長壽命放電單元

關(guān)閉期間免維護(hù)

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