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住友臭氧水裝置

如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話，可以
產(chǎn)品名稱：住友臭氧水裝置
產(chǎn)品型號(hào)：SGX-1B11SN
產(chǎn)品展商：其它品牌
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

住友臭氧水裝置住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。住友臭氧水裝置

產(chǎn)品描述

住友臭氧水裝置

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友臭氧水裝置

應(yīng)用：

半導(dǎo)體器件

Si/復(fù)合晶圓

FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）

光罩

發(fā)光二極管

具體信息：

溶解臭氧濃度	5 to 150ppm
臭氧化超純水流量	1 to 90L/min
原料氣	氧、氮、二氧化碳
功率	200-220VAC, 3-phase

優(yōu)勢(shì)

臭氧溶解單元的安裝使其能夠在管道輸送過程中防止臭氧溶解濃度的下降。

Contribute to reduction of foot print.（One ozone generator supplies ozone gas to multi dissolution units.）

高濃度，大流速

低運(yùn)行成本（低功耗，小部分消耗，長(zhǎng)壽命周期放電細(xì)胞）

高壓耐受長(zhǎng)壽周期放電細(xì)胞

穩(wěn)定濃度（閉環(huán)控制）

關(guān)閉時(shí)維護(hù)自由

無臭氧水

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