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住友臭氧水裝置

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
產(chǎn)品名稱：住友臭氧水裝置
產(chǎn)品型號：SGRP-03JS
產(chǎn)品展商：其它品牌
產(chǎn)品文檔：無相關(guān)文檔

簡單介紹

住友臭氧水裝置住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。住友臭氧水裝置

產(chǎn)品描述

住友臭氧水裝置

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友臭氧水裝置

應(yīng)用：

半導(dǎo)體器件

Si/復(fù)合晶圓

FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）

光罩

發(fā)光二極管

具體信息：

SGRP-03JS

臭氧氣體流速

350g/m3(N)

臭氧氣體供應(yīng)壓力

15L/min (5L/min x 3Line)

冷卻水溫度

20°C±2°C

尺寸

W570mm x D850mm x H1,870mm

重量

360kg

功率

200-220VAC, 3-phase

SGRF-03JA

臭氧氣體流速

400g/m3(N)

臭氧氣體供應(yīng)壓力

20L/min

冷卻水溫度

5°C

尺寸

W570mm x D850mm x H1,836mm

重量

350kg

功率

200-220VAC, 3-phase

優(yōu)勢：能夠通過單獨控制向大容量臭氧氣體提供一條管線或多條管線。

高濃度；高達(dá)400g/m3（N）

產(chǎn)品線豐富；小到大容量。

高壓；*大0.3Mpa（SGRP系列）

無氮摻雜（SGRF系列）

高壓耐受，長壽命放電單元

快速啟動，快速響應(yīng)

與臭氧監(jiān)測儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度

CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用

管道材料；從316LSS或PFA中選擇

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