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中國頭個自主知識產(chǎn)權分子泵磁軸承問世
**個國產(chǎn)磁軸承產(chǎn)品——“基于交叉反饋控制的FS450型分子泵磁軸承”,在浙江飛旋科技有限公司研發(fā)成功,從而在分子泵應用領域打破了國外的技術壟斷,使我國成為繼法國、美國、加拿大、德國等少數(shù)發(fā)達國家之后擁有自主知識產(chǎn)權的磁軸承技術產(chǎn)品的國家。
磁軸承又稱主動磁懸浮軸承,是一種轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機械接觸的新型高性能軸承。它由機械部件、電控系統(tǒng)、傳感器和輔助軸承等構成。利用電磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空間,具有無機械磨損、降耗低、允許轉(zhuǎn)速高、噪聲少、壽命長、無潤滑介質(zhì)等優(yōu)點。選擇磁軸承作為分子泵轉(zhuǎn)子的支承,可以從根本上解決傳統(tǒng)軸承潤滑帶來的潤滑油脂的油蒸汽返流對真空室的污染等問題,使磁軸承真空分子泵成為集成電路制造設備優(yōu)選的超高真空獲得設備。磁軸承是繼油潤滑、氣潤滑之后軸承行業(yè)又一次**性變化,為傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)增加了高科技產(chǎn)品。這種精密的機電一體化產(chǎn)品,除了在真空分子泵中應用外,還在**、航天航空、石油石化、能源等領域有著廣闊的前景。
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