氦質(zhì)譜檢漏儀基本原理
一、為什么要檢漏
很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進或流出這個空間，如真空設(shè)備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?span lang="EN-US">
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用過程中也要定期進行檢漏檢查。
二、泄漏程度的量化
其中：△P 為壓強的變化量
V為容器的體積
△t為時間的變化量
公安機關(guān)備案號：
