廠車間無塵室專用吸塵器該如何選擇,要注意哪些要點?無塵室等級如何劃分?
---昆山一月清潔設(shè)備技術(shù)服務(wù)部
什么是無塵室?
無塵室(Clean Room),亦稱為潔凈室或凈化室。它是污染控制的基礎(chǔ),沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室*主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
工廠車間無塵室專用吸塵器該如何選擇,應(yīng)該注意哪些要點?
在選擇和選購無塵室吸塵器要考慮各種綜合因素,并非所用的吸塵器都適合用于無塵室使用要求,具體的選擇要素有以下幾點:
**,真空工業(yè)吸塵器要高效過濾功能,如HEPA或ULPA過濾器。其中HEPA高效過濾器能夠有效過濾掉0.3微米的微塵粒子,過濾效果達(dá)到99.97%;而ULPA超高效過濾器則可以有效過濾掉0.12微米的微塵粒子,效果達(dá)到99.999%。
**、HEPA高效過濾器要后置于馬達(dá),這樣,吸塵器的馬達(dá)運轉(zhuǎn)產(chǎn)生的灰塵會被HEPA過濾掉,這樣可以確保過濾效果可以適用到CLASS100的無塵室環(huán)境。一般HEPA(高效過濾器)是前置于馬達(dá)的吸塵器,不能過濾馬達(dá)運作產(chǎn)生的灰塵,因此不適合于無塵室環(huán)境中使用。
第三、吸塵器要具備強排風(fēng)功能,只能有一個進(jìn)風(fēng)口和一個出風(fēng)口,要保證吸入的灰塵100%的經(jīng)過HEPA或ULPA過濾,一般家用和普通型的工業(yè)吸塵器沒有具備強排風(fēng),通常灰塵吸入后,可能會從不同的出風(fēng)口泄露,造成二次污染,灰塵被重新飛揚起來,影響無塵室環(huán)境中產(chǎn)品的良率。
第四、根據(jù)環(huán)境需要,選擇是否具備干濕兩用的工業(yè)吸塵器,一般來說,有液體的環(huán)境*好選擇可干濕兩用的無塵室吸塵器,沒有液體的情況*好是選擇干式的吸塵器。通常來說干式的無塵室吸塵器要比干濕兩用型的吸塵除塵效果要好。
無塵室吸塵器的選購需要注意以下要點:由于無塵室吸塵器的運用越來越普及,尤其是隨著社會科技的發(fā)展,一些特殊行業(yè)對無塵室環(huán)境的管理和要求越來越嚴(yán)格,例制藥行業(yè)、電子行業(yè)、晶圓加工、半導(dǎo)體加工、電子工廠、實驗室等等,許多行業(yè)的制造商都必須依國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)制定的標(biāo)準(zhǔn)來確保無塵室的干凈,如果達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)就有可能影響產(chǎn)品的良率和員工的健康。
傳統(tǒng)的無塵室清潔方式主要有無塵拖把、粘塵滾筒或無塵擦拭布進(jìn)行除塵潔凈。以往的清潔方式缺陷很多,如效率不高、會造出二次污染、人力成本過高、耗材成本太高等等。
目前,常用的也是較為有效的清潔方式是,使用帶有HEPA或ULPA過濾器的無塵室吸塵器,也稱為潔凈室吸塵器,凈化室吸塵器,無塵室專用吸塵器,無塵車間用吸塵器,凈化車間專用吸塵器,無塵袋吸塵器,百級吸塵器,千級吸塵器,萬級吸塵器等
無塵室的等級要求及等級劃分:
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別,每個立方米內(nèi)含的灰塵粒子越少表示無塵室等級越高。
無塵室等級從高到低可劃分為:百級,千級,萬級,十萬級。