無塵車間管理制度涉及有 1 施工管理制度 2 潔凈度定期檢測制度/測量標準 3 人員管理制度 4 防靜電無塵工作服管理制度 5 物流/潔凈室內(nèi)設(shè)備及工器具管理制度 6 清潔、清掃和**管理 7 潔凈室**管理 。
管理的目的半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過程對車間有明確的潔凈要求，為了滿足生產(chǎn)工藝需要、保證產(chǎn)品質(zhì)量、**生產(chǎn)，必須對潔凈室的環(huán)境、人員、物料、設(shè)備、生產(chǎn)過程等進行控制。
管理的原則進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入、物料進入、各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備、管線的維護管理，應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入潔凈室。操作管理技術(shù)，對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作服的制作、穿著和清洗；操作人員的移動和動作；室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃、滅茵等，盡可能地減少、防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖等。嚴格各類設(shè)備、設(shè)施的維護管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn)，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水氣電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和工器具(工裝夾具)等。以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度等級。清掃、**管理，對潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備、設(shè)施的清掃、滅茵以及方法、周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、捎除潔凈室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留、繁殖。潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。
適用范圍 半導(dǎo)體公司所有潔凈生產(chǎn)區(qū)及潔凈輔助間(包括人員凈化用室、物料凈化用室和相關(guān)生活用室等)、車間內(nèi)管理區(qū)(包括部分辦公、值班、管理和體息室等)和將來新建、改建、擴建的潔凈廠房及其輔助用房。
術(shù)語潔凈生產(chǎn)區(qū) 是潔凈廠房的主要部分，對潔凈級別有明確規(guī)定的區(qū)域。潔凈輔助間 是潔凈廠房不可缺少的必備房間。潔凈輔助間對潔凈廠房的平面關(guān)系密切，對潔凈廠房的建造帶來影響和投產(chǎn)后能否滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的需要以及能否可靠地防止生產(chǎn)過程的污染或交叉污染至關(guān)重要。管理區(qū) 是潔凈廠房內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)過程的生產(chǎn)管理、技術(shù)管理用房和必要的操作人員的休息、福利用房。設(shè)備區(qū) 即凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動力系統(tǒng)等用房，是潔凈廠房的重要組成部分。
管理程序，半導(dǎo)體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進行，在施工中必須遵循規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。 圖紙上對于施工的潔凈建設(shè)草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。
潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進行管理。 責任與義務(wù) ， 所有承包商有責任確保他們的工人都了解這些規(guī)則和程序，并且在他們疏于遵從或違反時給予培訓(xùn)和訓(xùn)練。被分配到潔凈建設(shè)區(qū)域的每位工人有責任和義務(wù)理解并遵守潔凈建設(shè)規(guī)則和程序。承包商負責執(zhí)行潔凈室草案。他將每天對潔凈建設(shè)區(qū)域進行檢查，并填寫檢查清單。承包商負責提供潔凈室所需物品，例如：鞋套，毛巾，墊子和工裝。他也負責提供每日執(zhí)行潔凈規(guī)則和程序的人員和設(shè)備。 承包商建造區(qū)域入口并對其進行管理。他提供清洗晾曬每個入口處鞋、外套和衣服的清洗店。他將對在潔凈區(qū)域工作的人員進行培訓(xùn)，并維護被允許在此區(qū)域工作的人員身份認定和管理。 開始階段，承包商應(yīng)在每個入口處安排人員（除非半導(dǎo)體公司在該入口處安排有人員）以確保本規(guī)則和程序的執(zhí)行。 重復(fù)違反規(guī)則和程序的人員將被開除。沒有貫徹執(zhí)行本規(guī)則和程序的供應(yīng)商將被除名。 草案細則潔凈室草案分為三部分，每一部分對應(yīng)施工的一個過程。施工接近完工階段，不允許從外面或潔凈區(qū)域的施工場地帶入臟物。 **部分**部分主要針對直到主要施工完成后。包括屋頂，覆層，門和窗戶。所有工人必須從圖紙上標明的通道進出施工現(xiàn)場。每個入口將會有清洗店。所有工人進入必須保持鞋子干凈。不允許穿奇特的服裝，工人的衣服應(yīng)該保持適當?shù)母蓛簟，F(xiàn)場**規(guī)則必須時刻遵守。所有設(shè)備和材料必須從一個入口進入施工現(xiàn)場，并且保持干凈，不允許有碎片掉下。施工現(xiàn)場內(nèi)不允許吃東西，吸煙，喝酒。每班結(jié)束時，必須清走所有垃圾和廢舊物品?？傊?，整個施工現(xiàn)場每天必須保持干凈。**部分**部分主要針對直到gridline B西邊潔凈區(qū)域的內(nèi)墻完成。此時，只允許承包商雇傭的工人在潔凈區(qū)域。其他供應(yīng)商如果要進入潔凈區(qū)域，必須提前向承包商提出申請，得到允許后方可進入。工人、設(shè)備和材料的入口是經(jīng)過威世半導(dǎo)體(西安)有限公司管理人員同意的。 gridlines 1和2之間的通向成品倉庫的外門。 gridlines 15和16之間的通向原料倉庫的外門。其它入口必須經(jīng)過潔凈工程承包商的書面批準。兩個入口旁邊將會為很可能造成污染的材料準備或拆包預(yù)留區(qū)域。進如潔凈區(qū)域之前，材料和設(shè)備不允許有臟物或由掉下，并且應(yīng)該用干凈的干布擦拭干凈。任何可能會造成污染的活動必須必須提前經(jīng)過潔凈工程承包商的批準。這包括砂紙打磨，碾，開鑿，演練，焊接，切割和任何用水或噴淋工作。承包商要用任何可能的方法預(yù)防污染。裝好的地板必須用PVC板包裝保護。**部分提到的必要的衣服、鞋套也是必須的。**部分草案執(zhí)行期間，潔凈區(qū)域必須每天吸塵。 第三部分第三部分主要針對直到生產(chǎn)車間全部建成。氣體鼓風(fēng)機將持續(xù)運行以維護房間的壓力要求。進入的工人穿鞋套和工作服。所有進入潔凈區(qū)域的材料，工具和設(shè)備要用IPA和水的混合物擦拭。在第三部分草案執(zhí)行期間，潔凈區(qū)域每天要用有過濾裝置的洗塵設(shè)備吸塵。 潔凈安裝必須采取潔凈措施保持安裝潔凈。各類部件如節(jié)氣閘，擴散體在進入施工現(xiàn)場時應(yīng)潔凈并且拆掉包裝。內(nèi)部表面應(yīng)該用IPA和水的混合物擦拭。潔凈安裝過程中，必須密切關(guān)注所采取的潔凈措施的可靠程度，對于隔離圍護設(shè)施一定要作到及時發(fā)現(xiàn)、立即糾正。 *后潔凈潔凈區(qū)域的所有安裝完成后，要進行*后潔凈。潔凈要用IPA和水的混合物擦拭。先潔凈天花板，然后是墻壁，墻壁應(yīng)從上到下，*后是地面。*后潔凈完成后，gridline B東邊通過的區(qū)域?qū)⑹?*進入潔凈室的通道。以前的原料成品倉庫入口將被保護。*后潔凈完成后，任何進入的人都必須通過威世半導(dǎo)體(西安)有限公司現(xiàn)場經(jīng)理的批準。
潔凈度定期檢測制度/測量標準為了保證潔凈室的潔凈度滿足工藝要求，必須定期對潔凈室內(nèi)的潔凈度進行檢測。檢測測試設(shè)備：激光粒子記數(shù)器檢測周期：每周一上午、下午對各潔凈區(qū)域進行一次檢測檢測條件：靜態(tài)潔凈度測試數(shù)據(jù)收集整理：將每次檢測的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲存，并在每個季度末（或下季度初）給各部門發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報給各部門。各潔凈區(qū)域潔凈級別標準：按照《半導(dǎo)體公司能源管理標準》要求執(zhí)行。區(qū)域、系統(tǒng)名稱 潔凈等級標準 相當于級別 級別 K-1系統(tǒng) 劃片區(qū)域 靜態(tài)1萬級 K-1系統(tǒng)改造前為靜態(tài)10萬級 CLASS 7 CLASS 8 CLASS 7 CLASS 8 K-2系統(tǒng) 包封區(qū)域 靜態(tài)30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3 K-3系統(tǒng) 搪錫區(qū)域 靜態(tài)30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3 K-4系統(tǒng) 測試區(qū)域 靜態(tài)30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3 K-8系統(tǒng) 電鍍區(qū)域 靜態(tài)30萬級 CLASS 8．3 CLASS 8．3 現(xiàn)有其他空調(diào)系統(tǒng) 舒適性空調(diào)系統(tǒng)，無潔凈要求 Not Applicable Not Applicable 潔凈室用凈化空調(diào)系統(tǒng)及設(shè)備的維護管理與相應(yīng)的操作規(guī)程、維修制度等（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)和潔凈室相關(guān)的公用動力系統(tǒng)的設(shè)備、管線等管理維護，如，空氣過濾器、空調(diào)機、局部凈化設(shè)備、冷凍機及水泵、純水設(shè)備、配電設(shè)備、**報警設(shè)施等）執(zhí)行威世半導(dǎo)體(西安)有限公司廠務(wù)部相關(guān)SOP文件。參考文件 FSD-SOP-01 《供電操作指導(dǎo)書及規(guī)范制度》 FSD-SOP-4-1 《AHU系統(tǒng)操作指導(dǎo)書》 FSD-SOP-4-2 《洗氣塔操作指導(dǎo)書》 FSD-SOP-4-3 《鍋爐操作指導(dǎo)書》 FSD-SOP-4-4 《制冷機操作指導(dǎo)書》 FSD-SOP-06 《廠務(wù)部**操作規(guī)程》 FSD-SOP-07 《設(shè)備維護保養(yǎng)流程》 FSD-SOP-08 《消防系統(tǒng)操作指導(dǎo)書》 FSD-SOP-12 《廠務(wù)部運行管理制度》 FSD-SOP-13 《市政動力能源中斷緊急應(yīng)變計劃》 FSD-SOP-20 《廠務(wù)核心機組應(yīng)急切換操作指導(dǎo)書》 ATD1210C 《能源管理標準》 JVP1301C 《公共設(shè)施管理規(guī)定》
潔凈室人員管理制度 ：潔凈室的人員管理包括：制定專職管理人員的職責、潔凈室人員的準入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進入潔凈室人員的“人凈程序”管理和退出管理制度等。 人員凈化與進入在潔凈廠房內(nèi)眾多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中的活動，會明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。要獲得生產(chǎn)環(huán)境所需要的空氣潔凈度等級或延長空氣過濾器的使用壽命，對進入潔凈室的人員、物料進行凈化十分必要。為保持潔凈室空氣潔凈度，應(yīng)盡量減少進入潔凈室人員帶入的污染物。所有進人潔凈室的人員必須嚴格地按規(guī)定程序進行人身凈化。個人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妝，換上指定的服裝，按空氣潔凈度等級相應(yīng)的**順序**，放在規(guī)定的衣柜內(nèi)。進入**室，在更衣凳前將皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脫下放在鞋柜內(nèi)，禁止不脫鞋直接跨越更衣凳而進入更衣室。若公司后期發(fā)展需要更高潔凈級別要求的潔凈區(qū)域（指高于ISO Class7級別）進入前，需要設(shè)置盟洗室用洗手器洗手（先用潔凈洗滌劑洗滌，再用潔凈水沖洗。洗滌后用自動烘手器烘干）。凡是交叉污染的媒介，要經(jīng)常洗滌。不要用手觸及高凈化產(chǎn)品和高凈化包裝材料等。要按規(guī)定戴手套和指套。 潔凈室工作人員須知進入潔凈室的人員應(yīng)嚴格執(zhí)行人身凈化制度、路線和程序，任何人不得隨意更改。在潔凈室內(nèi)必須按規(guī)定著衣、戴帽、換鞋。進入潔凈級別1萬級以及高于萬級的潔凈區(qū)域，必須至少經(jīng)過二次更衣。可先從一次更衣室進入，進行更鞋、脫外衣、換潔凈服、戴口罩、無塵工作帽子（或潔凈頭套）后，經(jīng)過走廊進入二次更衣室，進行二次更衣、更鞋、戴防靜電腕帶、戴口罩、戴帽子，確認更換完畢后，進入風(fēng)淋室進行風(fēng)淋后，才能進入萬級以及高于萬級的潔凈區(qū)域。max.book118.com.3.1風(fēng)淋室使用須知風(fēng)淋室是工作人員進入凈化區(qū)域前進行人身凈化的專用設(shè)備，它能將人體表面吸附著的塵埃用高速氣流吹去，使工作人員不帶污染源進入凈化區(qū)域，并能使凈化區(qū)域與非凈化區(qū)域起到氣閘作用。風(fēng)淋室設(shè)定和狀態(tài)：風(fēng)淋室在投入使用前必須完成調(diào)試和設(shè)定，使之保持自動風(fēng)淋狀態(tài)。風(fēng)淋室使用使用者無需按任何鍵即可開門進入風(fēng)淋室內(nèi)，人數(shù)每次限定三人,把門關(guān)好即可自動風(fēng)淋,風(fēng)淋時旋轉(zhuǎn)身體360度, 等待風(fēng)機停止工作以后蜂鳴響，內(nèi)門開鎖，用戶出風(fēng)淋室。按“照明開”鍵即可打開室內(nèi)照明燈。風(fēng)淋室的微電腦對所做設(shè)定有記憶功能,關(guān)閉風(fēng)淋室電源再次打開電源時風(fēng)淋室處于上次操作的*后設(shè)定狀態(tài)。禁止一線使用者對設(shè)備的數(shù)值設(shè)定進行更改，數(shù)據(jù)更改必須由專業(yè)的管理人員進行。禁止使用者野蠻對風(fēng)淋室的門（紅外電控鎖）強行推拉而損壞設(shè)備。風(fēng)淋設(shè)備若因使用不當而損壞，使用部門應(yīng)據(jù)實反映損壞原因，并立即報修。
公安機關(guān)備案號：
