中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)漸行漸近
回顧中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展歷史，可以說(shuō)是“起步早、門(mén)類(lèi)全、發(fā)展曲折”。所謂起步早，指的是從上世紀(jì)50年代中后期開(kāi)始研制鍺工藝半導(dǎo)體設(shè)備，60年代初中期自行制造我國(guó)**條1Gz鍺半導(dǎo)體三極管單機(jī)自動(dòng)化生產(chǎn)線，60年代中期即研制了Φ35mm圓片、10μm線寬水平的硅平面工藝半導(dǎo)體設(shè)備；70年代末至80年代，我國(guó)就已研制了電子束曝光機(jī)、激光冗余修正儀、高能離子注入機(jī)、離子束外延設(shè)備、分子束外延設(shè)備、分步重復(fù)光刻機(jī)、超純水處理系統(tǒng)等一批高水平的半導(dǎo)體設(shè)備。所謂門(mén)類(lèi)全指的是從應(yīng)用角度來(lái)講，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備涉及到集成電路、分立器件、高頻頻率器件、LCD、PDP、VFD、LED、太陽(yáng)能電池、MEMS、電力電子器件、敏感器件、CCD、新型電子元件、光纖通信器件、光盤(pán)等各個(gè)領(lǐng)域；從產(chǎn)品品種角度來(lái)講，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備覆蓋或曾覆蓋了從制版設(shè)備、晶片制備設(shè)備、芯片制造設(shè)備、封裝設(shè)備、在線檢測(cè)設(shè)備、理化分析設(shè)備、專(zhuān)用工模具到凈化設(shè)備的各種產(chǎn)品，幾十年來(lái)，我國(guó)共生產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備240多種，10萬(wàn)余臺(tái)，高峰時(shí)期，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有率曾高達(dá)85%，產(chǎn)品供不應(yīng)求。所謂發(fā)展曲折主要指的是從上世紀(jì)70年代末期開(kāi)始，我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)歷了一次對(duì)外技術(shù)引進(jìn)的高潮，進(jìn)口了大批的半導(dǎo)體設(shè)備(包括33條廉價(jià)的舊生產(chǎn)線設(shè)備)，不可避免地造成了對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的嚴(yán)重沖擊，給國(guó)產(chǎn)設(shè)備的市場(chǎng)開(kāi)拓帶來(lái)嚴(yán)重困難，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的市場(chǎng)占有率急劇地從85%下降到20%以下，從那時(shí)起一直到整個(gè)90年代，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)基本上處于維持和緩慢發(fā)展?fàn)顩r。
目前國(guó)產(chǎn)設(shè)備的銷(xiāo)售方向主要是院校和研究所中的科研型集成電 路生產(chǎn)線及分立器件、太陽(yáng)能電池、電力電子等其他應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)域，新建的集成電路制造廠幾乎都是從國(guó)外引進(jìn)設(shè)備。與國(guó)外先進(jìn)水平相比，國(guó)內(nèi)設(shè)備的加工線寬相差幾個(gè)技術(shù)檔次，國(guó)外12英寸設(shè)備已經(jīng)成熟，我國(guó)8英寸關(guān)鍵設(shè)備剛完成樣機(jī)試制正處于產(chǎn)品化階段。我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)已成為半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中*薄弱的環(huán)節(jié)之一，那么，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展前景究竟如何，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的春天離我們還有多遠(yuǎn)？筆者認(rèn)為，盡管差距很大，困難重重，但我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)正面臨著****的發(fā)展機(jī)遇，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備與市場(chǎng)需求的距離將會(huì)漸行漸近，“十一五”將有可能成為我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的重要轉(zhuǎn)折期，我們應(yīng)該不失時(shí)機(jī)地給予全方位的支持，為我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的騰飛創(chuàng)造條件。
國(guó)家有關(guān)部門(mén)已將加快發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)列為“十一五”的發(fā)展重點(diǎn)，我國(guó)有利于半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的宏觀政策環(huán)境已經(jīng)或即將逐步改善。與此同時(shí)，我國(guó)一些經(jīng)濟(jì)相對(duì)發(fā)達(dá)地區(qū)也已將半導(dǎo)體設(shè)備列為重點(diǎn)發(fā)展領(lǐng)域，北京、上海、沈陽(yáng)等地半導(dǎo)體設(shè)備研制基地的建設(shè)正在加速進(jìn)行，另有一些地區(qū)也已將發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備列入了議事日程。通過(guò)“十五”期間各方面的不懈努力，我國(guó)主要半導(dǎo)體設(shè)備制造單位的綜合實(shí)力正在迅速提高，部分企業(yè)在廠房和實(shí)驗(yàn)室建設(shè)、研制手段、精加工設(shè)備、超凈環(huán)境、檢測(cè)儀器等硬件環(huán)境方面已逐步接近國(guó)外先進(jìn)水平，一些吸引海外資金和人才建立的全新的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)已經(jīng)成立并正在迅速成長(zhǎng)；在隊(duì)伍建設(shè)方面，一些高層次的半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)和管理專(zhuān)業(yè)人才已經(jīng)進(jìn)入研發(fā)一線并正在擴(kuò)大，一批年輕的技術(shù)人才正在迅速成長(zhǎng)，我國(guó)在若干關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)隊(duì)伍和水平在“十五”有了臺(tái)階式的發(fā)展；隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的迅速發(fā)展，通過(guò)與有關(guān)國(guó)際組織和國(guó)外企業(yè)的密切接觸和合作，國(guó)內(nèi)的零部件配套能力正在迅速提高，國(guó)內(nèi)發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備的配套環(huán)境正在改善。
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