半導體無塵室**工作規(guī)范
一、無塵室須知
1. 進入無塵室前，必須知會管理人，并通過基本訓練。
2. 進入無塵室嚴禁吸煙，吃(飲)食，外來雜物(如報章，雜志，鉛筆...等)不可攜入，并嚴禁嘻鬧奔跑及團聚談天。
3. 進入無塵室前，需在規(guī)定之處所脫鞋，將鞋置于鞋柜內(nèi)，外衣置于衣柜內(nèi)，私人物品置于私人柜內(nèi)，柜內(nèi)不可放置食物。
4. 進入無塵室須先在更衣室，將口罩，無塵帽，無塵衣以及鞋套按規(guī)定依程序穿戴整齊，再經(jīng)空氣洗塵室洗塵，并踩踏除塵地毯(洗塵室地板上)方得進入。
5. 戴口罩時，應將口罩戴在鼻子之上，以將口鼻孔蓋住為原則，以免呼吸時污染芯片。
6. 穿著無塵衣，無塵帽前應先整理服裝以及頭發(fā)，以免著上無塵衣后，不得整理又感不適。
7. 整肅儀容后，先戴無塵帽，無塵帽的穿戴原則系:
(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內(nèi)，不得外露。
(2)無塵帽之下擺要平散于兩肩之上，穿上工作衣后，方不致下擺脫出，裸露肩頸部。
8. 無塵帽戴妥后，再著無塵衣，無塵衣應尺吋合宜，才不致有褲管或衣袖太短而裸露皮膚之虞，穿衣時應注意帽之下擺應保平整之狀態(tài)，無塵衣不可反穿。
9. 穿著無塵衣后，才著鞋套，拉上鞋套并將鞋套整平，確實蓋在褲管之上。
10. 戴手套時應避免以光手碰觸手套之手掌及指尖處(防止鈉離子污染)，戴上手套后，應將手套之手腕置于衣袖內(nèi)，以隔絕污染源。
11. 無塵衣著妥后，經(jīng)洗塵，并踩踏除塵毯，方得進入無塵室。
12. 不論進入或離開無塵室，須按規(guī)定在更衣室脫無塵衣，不可在其它區(qū)域為之，尤不可在無塵室內(nèi)邊走邊脫。
13. 無塵衣，鞋套等，應定期清洗，有破損，脫線時，應即換新。
14. 脫下無塵衣時，其順序與穿著時相反。
15. 脫下之無塵衣應吊好，并放于更衣室內(nèi)上層柜子中;鞋套應放置于吊好的無塵衣下方。
16. 更衣室內(nèi)小柜中，除了放置無塵衣等規(guī)定物品外，不得放置其它物品。
17. 除規(guī)定紙張及物品外，其它物品一概不得攜入無塵室。
18. 無塵衣等不得攜出無塵室，用畢放置于規(guī)定處所。
19. 口罩與手套可視狀況自行保管或重復使用。
20. 任何東西進入無塵室，必須用灑精擦拭干凈。
21. 任何設備的進入，請知會管理人，在無塵室外擦拭干凈，方可進入。
22. 未通過考核之儀器，禁止使用，若遇緊急情況，得依緊急處理步驟作適當處理，例如關(guān)閉水、電、氣體等開關(guān)。
23. 無塵室內(nèi)**不可動火，以免發(fā)生意外。
二、無塵室操作須知
1. 處理芯片時，必須戴上無纖維手套，使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片，請勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭碰觸污染過的芯片須經(jīng)清洗，方得繼續(xù)使用：
(1) 任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過，或是鑷子掉落地上，必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
(2) 芯片清洗后進行下一程序前，若被手指碰觸過，必須重新清洗。
(3) 把芯片放置于石英舟上，準備進爐管時，若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，必須將芯片重新清洗，并立即更換干凈的鑷子使用。
2. 芯片必須放置盒中，蓋起來存放于規(guī)定位置，盡可能不讓它暴露。
3. 避免在芯片上談話，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進擴散爐前，請?zhí)貏e注意，防止上述動作產(chǎn)生，若芯片上沾有纖維屑時，用氮**噴之。
4. 從鐵弗龍(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等載具(Carrier)上，取出芯片時，必須垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。
5. 芯片上，若已長上氧化層，在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。
6. 操作時，不論是否戴上手套，手絕不能放進清洗水槽。
7. 使用化學站或烤箱處理芯片時，務必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內(nèi)，不可使用塑料盒。
8. 擺置芯片于石英舟時，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片，然后再進氧化爐。
9. 請勿觸摸芯片盒內(nèi)部，如被碰觸或有碎芯片污染，必須重作清洗。
10. 手套，廢紙及其它雜碎東西，請勿留置于操作臺，手套若燒焦、磨破或纖維質(zhì)變多必須換新。
11. 非經(jīng)指示，絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關(guān)閥控制鈕或把手。
12. 奇怪的味道或反應異常的溶液，顏色，聲響等請即通知相關(guān)人員。
13. 儀器因操作錯誤而有任何損壞時，務必立刻告知負責人員或老師。
14. 芯片盒進出無塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進入。
15. 無塵室內(nèi)一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄，一般紙張與鉛筆不得攜入。
三、黃光區(qū)操作須知
1. 濕度及溫度會影響對準工作，在黃光區(qū)應注意溫度及濕度，并應減少對準機附近的人，以減少濕、溫度的變化。
2. 上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得攜出黃光區(qū)以免感光。
3. 己上妥光阻，而在等待對準曝光之芯片，應放置于不透明之藍黑色晶盒之內(nèi)， 盒蓋必須蓋妥。
4. 光罩使用時應持取邊緣，不得觸及光罩面，任何狀況之下，光罩鉻膜不得與他物接觸，以防刮傷，光罩之落塵可以氮**吹之。
5. 曝光時，應避免用眼睛直視曝光機汞燈。
四、鑷子使用須知
1. 進入實驗室后，應先戴上手套后，再取鑷子，以免沾污。
2. 唯有使用干凈的鑷子，才可持取芯片，鑷子一旦掉在地上或被手觸碰，或因其它原因而遭污染，必須拿去清洗，方可再使用。
3. 鑷子使用后，應放于各站規(guī)定處，不可任意放置，如有特殊制程用鑷子，使用后應自行保管，不可和實驗室內(nèi)各站之鑷子混合使用。
4. 持鑷子應采"握筆式"姿勢挾取芯片。
5. 挾取芯片時，順序應由后向前挾取，放回芯片時，則由前向后放回，以免刮傷芯片表面。
6. 挾取芯片時，"短邊" (鋸狀頭)置于芯片正面，"長邊" (平頭)置于芯片背面，挾芯片空白部分，不可傷及芯片。
7. 嚴禁將鑷子接觸酸槽或D.I Water水槽中。
8. 鑷子僅可做為挾取芯片用，不準做其它用途。
五、化學藥品使用須知
1. 化學藥品的進出須登記，并知會管理人，并附上物質(zhì)**資料表(MSDS)于實驗室門口。
2. 使用化學藥品前，請詳讀物質(zhì)**資料表(MSDS)，并告知管理人。
3. 換酸前必先穿著防酸塑料裙，戴上防酸長袖手套，頭戴護鏡，腳著塑料防酸鞋，始可進行換酸工作。
4. 不得任意打開酸瓶的蓋子，使用后立即鎖緊蓋子。
5. 稀釋酸液時，千萬記得加酸于水，絕不可加水于酸。
6. 勿嘗任何化學藥品或以嗅覺來確定容器內(nèi)之藥品。
7. 不明容器內(nèi)為何種藥品時，切勿搖動或倒置該容器。
8. 所有化學藥品之作業(yè)均須在通風良好或排氣之處為之。
9. 操作各項酸液時須詳讀各操作規(guī)范。
10. 酸類可與堿類共同存于有抽風設備的儲柜，但絕不可與有機溶劑存放在一起。
11. 廢酸請放入廢酸桶，不可任意傾倒，更不可與有機溶液混合。
12. 廢棄有機溶液置放入有機廢液桶內(nèi)，不可任意傾倒或倒入廢酸桶內(nèi)。
13. 勿任意更換容器內(nèi)溶液。
14. 欲自行攜入之溶液請事先告知經(jīng)許可后方可攜入，如果欲自行攜入之溶液具有危險性時，必須經(jīng)評估后方可攜入，并請于容器上清楚標明容器內(nèi)容物及保存期限。
15. 廢液處理：廢液分酸、堿、氫氟酸、有機、等，分開處理并登記，回收桶標示清楚，廢液桶內(nèi)含氫氟酸等酸堿，**不可用手觸碰。
16. 漏水或漏酸處理：漏水或漏酸時，為確保**，**不可用手觸碰，先將電源總開關(guān)與相關(guān)閥門關(guān)閉，再以無塵布或酸堿吸附器處理之，并報備管理人。
六、化學工作站操作
1. 操作時須依規(guī)定，戴上橡皮手套及防護口罩。
2. 不可將塑料盒放入酸槽或清洗槽中。
3. 添加任何溶液前，務必事先確認容器內(nèi)溶劑方可添加。
4. 在化學工作站工作時應養(yǎng)成良好工作姿勢，上身應避免前傾至化學槽及清洗槽之上方，一方面可防止危險發(fā)生，另一方面亦減少污染機會。
5. 化學站不操作時，有蓋者應隨時將蓋蓋妥，清洗水槽之水開關(guān)關(guān)上。
6. 化學藥品濺到衣服、皮膚、臉部、眼睛時，應即用水沖洗濺傷部位15分鐘以 上，且必須皮膚顏色恢復正常為止，并立刻安排急救處理。
7. 化學品外泄時應迅速反應，并做適當處理，若有需要撤離時應依指示撤離。
8. 各化學工作站上使用之橡皮手套，避免觸碰各機臺及工作臺，及其它器具等物，一般操作請戴無塵手套。
七、RCA Method
1. DI Water 5min
2. H2SO4:H2O2=3:1 煮10~20min 75~85℃，去金屬、有機、油
3. DI Water 5min
4. HF:H2O 10~30sec，去自然氧化層(Native Oxide)
5. DI Water 5min
6. NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5 煮10~20min 75~85℃，去金屬有機
7. DI Water 5min
8. HCl:H2O2:H2O=1:1:6 煮10~20min 75~85 ℃ 去離子
9. DI Water 5min
10. Spin Dry
八、清洗注意事項
1. 有水則先倒水﹐H2O2*后倒﹐數(shù)字比為體積比。
2. 有機與酸堿**不可混合﹐操作平臺也務必分開使用。
3. 酸堿溶液等冷卻后倒入回收槽﹐并以DI Water沖玻璃杯5 min。
4. 酸堿空瓶以水清洗后﹐并依塑料瓶﹐玻璃瓶分開置于室外回收筒。
5. 氫氟酸會腐蝕骨頭﹐若碰到立即用葡萄酸鈣加水涂抹，再用清水沖洗干凈，并就醫(yī)。碰到其它酸堿則立即以DI Water大量沖洗。
6. 清洗后之Wafer盡量放在DI Water中避免污染。
7. 簡易清洗步驟為1-2-9-10;清洗SiO2步驟為1-2-10;清洗Al以HCl:H2O=1:1。
8. 去除正光阻步驟為1-2-10，或浸入ACE中以超音波振蕩。
9. 每個玻璃杯或槽都有特定要裝的溶液﹐蝕刻、清洗、電鍍、有機絕不能混合。
10. 廢液回收分酸、堿、氫氟酸、電鍍、有機五種，分開回收并記錄，傾倒前先檢查廢棄物兼容性表，確定無誤再傾倒。
無塵室系統(tǒng)
使用操作方法
1. 首先打開控制器面板上的【電熱運轉(zhuǎn)】、【加壓風車運轉(zhuǎn)】、【浴塵室運轉(zhuǎn)】、【排氣風車運轉(zhuǎn)】等開關(guān)。
注意:
* 溫度控制器及濕度控制器可由黃色鈕調(diào)整，一般溫度控制為20℃ DB ，濕度控制為50% RH。
* 左側(cè)的控制器面板上電壓切換開關(guān)為【RU】，電流切換開關(guān)為【T】。右側(cè)的控制器面板上電壓切換開關(guān)為【RS】，電流切換開關(guān)為【OFF】。
2. 將箱型空氣調(diào)節(jié)機的送風關(guān)關(guān)打開，等送風穩(wěn)定后再將冷氣暖氣開關(guān)打開，此時紅色燈會亮起，表示正常運作。
注意:
* 冷氣的起動順序為壓縮機【NO.2】。
* 溫度調(diào)節(jié)為指針指向紅色暖氣【5】。
* 分流開關(guān)AIR VALVE 為【ON】。
3. 無塵室使用完畢后，要先將箱型空氣調(diào)節(jié)機關(guān)閉，按【停止】鍵即可。
4. 再將控制器面板上的【電熱運轉(zhuǎn)】、【加壓風車運轉(zhuǎn)】、【浴塵室運轉(zhuǎn)】、【排氣風車運轉(zhuǎn)】等開關(guān)依序關(guān)閉。
氣體鋼瓶
使用操作方法
1. 用把手逆時針打開氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】打開PURGE關(guān)閉。
2. 由黑色轉(zhuǎn)鈕調(diào)整氣體鋼瓶的壓力(psi)，順時針方向為增加，逆時針方向為減少。
3. 將N2鋼瓶調(diào)整為40psi(黃光室內(nèi)為20psi),AIR鋼瓶調(diào)整為80psi(黃光室內(nèi)為60psi)。
4. 氣體鋼瓶使用完畢后，用把手順時針關(guān)閉氣體鋼瓶到底，將【OUTLET】關(guān)閉【PURGE】打開將管路內(nèi)的氣體排出后將【PURGE】關(guān)閉。
純水系統(tǒng)
使用操作方法
1. 閥門控制
(1) 閥門(VALVE)V1、V2、V3、V4、V6、V8、V10、V12、V13、V14、V16、V17、V19應保持全開。
(2) 閥門V5、V7、V11、V18、V21應保持全關(guān)。
(3) 閥門V9、V20為調(diào)壓作用，不可全開或全關(guān)。
(4) 閥門中V5為砂濾機之BY-PASS，V15為U.V燈之BY-PASS，V18為DI桶之BY-PASS，V21為RO膜之BY-PASS。
2. 自動造水
步驟1：如上【閥門控制】將各球閥門開關(guān)定位。
步驟2：控制箱上，各切換開關(guān)保持在【OFF】位置。
步驟3：將控制箱上【系統(tǒng)運轉(zhuǎn)】開關(guān)切換至【ON】位置。
步驟4：電磁閥1 激活先做初期排放。
步驟5：電磁閥2 激活造水。
步驟6：此時，PUMP1、PUMP2依序激活，系統(tǒng)正常造水，RO產(chǎn)水經(jīng)管路進入儲水桶(TANK)，當水滿后控制箱上高液位指示燈亮，系統(tǒng)自動停機，并于儲水桶水位下降至低液位時再激活造水。
3. 系統(tǒng)用水
將控制箱上之【夜間循環(huán)-停-用水】切換開關(guān)切換至【用水】，此時PUMP3輸送泵浦激活，TANK內(nèi)之純水經(jīng)幫浦輸送至U.V、DI桶及精密過濾后，供現(xiàn)場各使用點使用。
4. 夜間循環(huán)
控制箱上之【夜間循環(huán)-停-用水】切換開關(guān)，主要在配合每日下班或連續(xù)假日停止供水后管路之衛(wèi)生考慮，其步驟為:
(1) 停止供水59分鐘后，系統(tǒng)再自動供水1分鐘。
(2) 此后每隔59分鐘供水循環(huán)1分鐘至夜間循環(huán)【停】為止。
5. 系統(tǒng)偵測
本系統(tǒng)中附有各項壓力表、流量計及導電度計，作為系統(tǒng)運轉(zhuǎn)之控制，其功能如下:
壓力表1：砂濾機進水壓力
壓力表2：RO進水壓力
壓力表3：RO排水壓力
壓力表4：DI進水壓力
壓力表5：供水回流壓
流量計1：RO排水流量
流量計2：RO產(chǎn)水流量
另外，控制箱(機房)附有二段式LED導電度顯示屏，原水及產(chǎn)水分別切換顯示。
6. 系統(tǒng)維護
HF-RD系統(tǒng)，應定期更新之耗材:
(1) 砂濾機應定期逆時。
(2)預濾應每1-2個月更新。
(3)膜管應視其去除率及產(chǎn)水量做必要之清洗或更新。
(4)樹脂混床視比電阻值更新。
(5)精密過濾約每2-4個月更新。
7. 故障排除
現(xiàn) 象 可能因素 排除方法
系統(tǒng)停機、系統(tǒng)無法激活 1. 外電源異常2. 系統(tǒng)運轉(zhuǎn)開關(guān)未按下3. 系統(tǒng)電路故障4. 馬達/泵浦故障 1. 檢查系統(tǒng)電源電路2. 按下系統(tǒng)運轉(zhuǎn)開關(guān)3. 通知廠商4. 更新馬達/泵浦
低產(chǎn)水量 1. 膜管排水量太高2. 壓力不足3. 膜管阻塞 1. 調(diào)整排水閥V92. 清洗膜管或更新膜管
低比電阻 1. 樹脂功能下降2. RO去除率下降 1. 更換樹脂2. 更換RO膜組
光罩對準機
使用操作方法
曝光機簡介
在半導體制程中，涂布光阻后的芯片，須經(jīng)UV紫外光照射曝光顯影，此臺曝光機為OAI 200系列，整合光罩對準、UV紫外光曝光顯影、UV紫外光測量裝置及光罩夾持裝置。
OAI 200系列為一入門型光罩對準儀，可以手動操作更改各項使用參數(shù)，如曝光時間、曝光強度及曝光功率等等。對于中高階的線寬有很好的顯影效果，此系列*大可使用四吋的芯片，*大的曝光功率為1KW。
曝光機使用步驟
1. 檢查氮氣鋼瓶〈AIR 60psi〉〈N2 20psi〉以及黃光室的氮氣閥、空氣閥是否有開啟。開啟曝光機下方延長線的紅色總開關(guān)，再開啟曝光機、顯微鏡。
2. 接上隧道式抽風馬達電源，進行曝光機抽風步驟，并檢查曝光機上方汞燈座后面進風口是否有進氣。如果風量微小或者無進氣，則無法開啟汞燈的電源〈會有警報聲〉。確定進風口有進氣后，才可開啟曝光機下方的汞燈電源供應器ON/OFF開關(guān)。
3. 按住汞燈電源供應器之START鍵，約1~3秒鐘，此時電流值會上升〈代表汞燈點亮，開始消耗電流〉，馬上放掉按鍵，汞燈即被點亮。
4. 汞燈點亮后，至少須待機30分鐘，使Lightsource系統(tǒng)穩(wěn)定。假使汞燈無法點亮，請不要作任何修護動作。
5. 待系統(tǒng)穩(wěn)定后，把電源供應器上的電壓、電流值填到紀錄表上，每一次開燈使用都要登記作為紀錄。
6. 旋開光罩夾具之螺絲，光罩之正面〈鍍鉻面〉朝下，對準三個基準點，壓下【MASK VAC.】鍵，使真空吸住光罩，再鎖好螺絲以固定光罩。
注意：
* MASK Holder 必須放下時才能放置光罩。扳動【MASK FRAME UP/DOWN】可使MASK Holder升起或放下。
* 先用氮氣吹光罩和MASK Holder，光罩正面朝下，對準黑邊鐵框，手勿接觸光罩，壓下【MASK VAC.】鍵，使真空吸住光罩，鎖上旁邊兩個黑鐵邊。
* 檢查放置芯片的圓形基座CHUNK是否有比光罩低些，防止光罩壓破芯片。
7. 扳起【MASK FRAME UP/DOWN】鍵，使MASK Holder上升，放置芯片到CHUNK上，將【SUB VAC.】鍵扳至ON，使真空吸住芯片，扳下【MASK FRAME UP/DOWN】鍵，使MASK Holder放下。
8. 扳動臺邊鈕(Ball Lock Button)為Unlock，順時針方向慢慢旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)鈕(Z knob)，使芯片基座上升，直到傳動皮帶感覺已拉緊即可，然后逆時針旋轉(zhuǎn)Z Knob約15格，扳動臺邊鈕(Ball Lock Button)為Lock。
注意：
* Z knob 每格約15 microns。
* 逆時針方向旋轉(zhuǎn)Z knob，會使放置芯片基座下降，其目的是為了作對準時，讓芯片和光罩有些許的距離，使芯片與光罩不會直接摩擦。
* 若不須對準時，可以不使用逆時針方向旋轉(zhuǎn)Z knob。
* 旋轉(zhuǎn)Z knob時，不論順時針或逆時針轉(zhuǎn)動，當皮帶打滑時，代表芯片基座已和光罩接觸，此時不可逆時針旋轉(zhuǎn)，而導致內(nèi)部螺栓松脫。
* CHUNK ¨ Z ¨ ADJUST一般為15A~20 A之間，且電流越小皮帶越松。
9. 移動顯微鏡座，至光罩上方，作芯片與光罩的對準校正。如須調(diào)整芯片的位置，可使用芯片基座旁的微調(diào)桿，校正芯片座X、Y及θ。
10.
100 SEC
1000 SEC
RESET
EXPOSE
SEC
曝光機面板左側(cè)如下圖：
注意：
* 曝光秒數(shù)有兩種設定，一種為1000SEC，一種為100SEC。當按下1000SEC時，計數(shù)器*大可設999秒的曝光時間;按下100SEC時，計數(shù)器*大可設99.9秒的曝光時間。
* 再設定曝光秒數(shù)時要先測量汞燈的亮度，先按LAMP TEST再按住把手上的按鈕移動基座至曝光機左端底，后然將OAI 306 UV POWERMETER放置于CHUNK上即可，完畢后按RESET，而且可多測幾個不同的位置，觀看汞燈的亮度是否均勻，所測得的單位為mw/cm2 ，乘時間(SEC)即變可mJ的單位。
11. 設定好曝光秒數(shù)后，即可進行曝光的程序。扳動【CONTACT VAC.】至ON，【N2 PURGE】至ON，則芯片和光罩之間會產(chǎn)生些許的真空。
注意:
*【CONTACT VAC ADJUST】的范圍一般為紅色-25kpa 左右。
12. 按住把手上的按鈕，此時基座才可移動，移至曝光機左端底，放開按鈕，則曝光機會自動進行曝光的動作。
13. 曝光完成后，即可將基座移回曝光機右端。扳動扳動【N2 PURGE】為OFF。再扳動【CONTACT VAC.】至OFF，儀器會充氮氣破光罩與芯片間的真空，方便使用者拿出芯片。
14. 逆時針旋轉(zhuǎn)Z knob，降下芯片基座至*低點。松開光罩固定的黑邊鐵框，拉起【MASK VAC.】鈕，即可破除MASK Holder的真空，光罩即可取出。
15. 扳起【MASK FRAME UP/DOWN】為UP，使MASK Holder升起。扳動【SUB VAC.】為OFF，使用芯片夾取出芯片，再扳【MASK FRAME UP/DOWN】為DOWN。
16. 如須進行再一次的曝光，則可重復上述步驟。
17. 完成所有的曝光程序后，先關(guān)掉顯微鏡光源產(chǎn)生器，再關(guān)掉汞燈電源供應器?！搓P(guān)燈后一小時內(nèi)不可再開啟汞燈，已延長汞燈壽命〉
18. 先關(guān)隧道式抽風馬達電源，關(guān)掉曝光機的開關(guān)【SYSTEM ON/OFF】為OFF，再關(guān)掉曝光機下方的延長線總開關(guān)。待曝光機冷卻后，*后再關(guān)掉墻上氮氣閥及空氣閥。
熱蒸鍍機
使用操作方法
A.開機步驟
1. 開機器背面的總電源開關(guān)。
2. 開冷卻水，需先激活D.I Water 系統(tǒng)。
3. 開RP，熱機2分鐘。
4. 開三向閥切至F.V的位置，等2分鐘。
5. 開DP，熱機30分鐘(熱機同時即可進行Sample 之清洗與裝載，以節(jié)省時間)。
B.裝載
1. 開Vent，進氣之后立刻關(guān)閉。
2. 開Chamber。
3. Loading Sample、Boat及金屬。
4. 以Shutter擋住Sample。
5. 關(guān)Chamber，關(guān)門時務必注意門是否密合，因機器年久失修，通常須用手壓緊門的右上角。
C.抽真空
1. 初抽
(1) 三向閥切至R.V位置(*好每隔幾分鐘就切換到F.V一下，以免DP內(nèi)的幫浦油氣分子擴散進入chamber中)。
(2) 真空計VAP-5顯示至5´10-2 torr時三向閥切至F.V，等30秒。
2. 細抽
(1) M.V ON，記錄時間。
(2) ION GAUGE ON，壓下Fil 點燃燈絲(需要低于10-3 Torr以下才抽氣完成)。
D.蒸鍍
1. 壓力約2´10-5 Torr時，開始加入液態(tài)氮。
2. 壓力低于2´10-6 Torr時，記錄壓力及抽氣時間并關(guān)掉ION GAUGE。
3. Heater Power ON (確定Power調(diào)整鈕歸零)。
4. 選擇BOAT1 or BOAT2。
5. 蒸鍍開始，注意電流需慢慢增加。
注意:
* 鍍金時，儀表上電流約100A，鍍Al時電流可稍微小些，約70~80A。
* 當BOAT高熱發(fā)出紅光時，應立即關(guān)閉觀景窗，以免金屬附著在觀景窗的玻璃上。
* 空鍍幾秒將待鍍金屬表面清干凈后即可打開Shutter，開始蒸鍍。
* 蒸鍍完成后，立刻關(guān)閉Heater Power，等10~15分鐘讓BOAT冷卻及蒸鍍后的金屬冷卻，避免立即和空氣接觸而氧化，才可vent破真空。
E.破真空
1. Substrate Hold溫度需要降至常溫。
2. ION GAUGE 【POWER】OFF。
3. M.V OFF。
4. DP OFF 冷卻30~60分鐘。
5. 開Vent(進氣后立刻關(guān)閉)。
6. 開Chamber，取出Sample及BOAT。
7. 關(guān)Chamber，注意將門關(guān)緊。
F.關(guān)機
1. 關(guān)F.V。
2. 開R.V，抽至0.01 Torr之后關(guān)閉。
3. 開F.V，30秒后三向閥切至關(guān)閉之位置。
4. RP OFF。
5. 關(guān)總電源。
6. 關(guān)冷卻水。
7. 關(guān)氮氣。
注意：
* 蒸鍍時，電流應緩慢增大，且不可太大，以免金屬在瞬間大量氣化，使厚度不易控制。
* 若接續(xù)他人使用，液態(tài)氮可少灌一點兒，約三分之一筒即可。
氧化爐管
使用操作方法
氧化爐管簡介
本實驗室所采用之氧化爐管為Lenton LTF 1200水平管狀式爐子，可放2英吋硅晶圓，加熱區(qū)大于50cm，*高溫度可達1200°C并可連續(xù)24hr，*大操作溫度為1150°C，溫控方式采用PID微電腦自動溫度控制器。
目的
將硅芯片曝露在高溫且含氧的環(huán)境中一段時間后，我們可以在硅芯片的表面生長一層與硅的附著性良好，且電性符合我們要求的絕緣體-SiO2。
注意:
* 在開啟氧化爐之前，必須先確定【HEAT】Switch設定為【O】關(guān)閉的狀態(tài)。Switch在有電源供應時【l】將會發(fā)光，而氧化爐也將開始加熱。
* 如果過溫保護裝置是好的，請確定警報點的設定于目前的使用過程中為恰當?shù)?。如果過熱保護裝置是好的，蜂嗚器會有聲音，在過溫控制操作中有警報一致的程序。
* 為了改善石英玻璃管或襯套熱量的碰撞，其加熱速率*大不能超過3°C per min。
* 為了減少熱流失，必須確定正確的操作程序，適當?shù)氖褂媒^緣栓和放射遮蔽可以密封石英玻璃管。
* 在操作氧化爐時不要在*大溫度下關(guān)閉氧化爐，以延長氧化爐的壽命。
操作步驟:
1. 檢查前一次操作是否有異常問題發(fā)生，并填寫操作記錄。
2. 檢查機臺狀態(tài)
(1) 控制面板狀態(tài)：使用前先確定【HEAT】Switch設定為【O】關(guān)閉的狀態(tài)。
(2) 加熱控制器: Lenton LTF 1200溫度>400°C，前后段爐溫差£40°C。
(3) 氣體控制:H2【OFF】，O2 【OFF】。
3. 將芯片緩慢的推入爐管內(nèi)。
4. 打開墻上H2、O2之開關(guān)和機房的氣瓶調(diào)壓閥。
5. 設定預設氣體(H2 、O2)流量值及爐溫。
6. 按下【HEAT】Switch 為【l】，此時爐溫將從恒溫(400°C)慢慢加熱至標準制程溫度1100°C，升溫速率*大不能超過3°C per min。
7. 待爐溫降至恒溫后將芯片取出。
8. 關(guān)閉H2、O2 。
9. 關(guān)閉爐管后端H2之開關(guān)及墻上之開關(guān)和機房的氣瓶調(diào)壓閥。
10. 檢查爐管是否完成關(guān)機動作。
11. 填寫操作記錄之終了時間和異常保護及說明。
涂布機
使用操作方法
1. 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機后面的電源插座。
2. 將涂布機的插頭插入110V的電源插座，然后按下【POWER】鍵。
3. 設定旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速及時間，本機型為二段式加速的Spin Coating，右邊為**段加速，左邊為**段加速。
4. 依不同尺寸的基材，可更換不同的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤做涂布的動作。
5. 按下【PUMP】鍵，此時旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會吸住基材，然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開至適當?shù)牧浚谧龉庾柰块_動作時可先用氮氣將旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤周圍及基材吹干凈。
6. 蓋上涂布機的保護蓋，以防止光阻濺出涂布機外。
7. 按下【START】鍵，涂布機便開始做涂布的動作。
8. 涂布完畢后，打開保護蓋，按下【PUMP】鍵旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤會放開基材，便可以將基材取出。
熱風循環(huán)烘箱
使用操作方法
1. 本機使用電壓110V/60HZ。
2. 確認電壓后，將電源線插入110V的插座。
3. 打開【POWER】開關(guān)，此時溫度表PV即顯示箱內(nèi)實際溫度。
4. 首先按【SET】鍵ÿ ，SV會一直閃爍此時即可開始設定溫度，而SV的字幕窗會呈現(xiàn)高亮度，在高亮度的位置可設定所需的溫度，只要再按【SET】鍵ÿ 高亮度會隨之移動，在高亮度的地方即可設定溫度。
5. 按上移鍵▲表示溫度往上遞增，按下移鍵▼則溫度往下遞減。
6. 當完成以上設定溫度之后(SV仍閃爍不停)此時只要按一次【ENT】鍵SV即呈現(xiàn)剛才所設定的溫度(PV顯示實際溫度)。
7. 加熱燈OUT顯示燈亮時表示機器正在加熱中，而到達設定點時OUT會一閃一爍(正?，F(xiàn)象)。
8. AT燈亮時表示溫度正自動演算中。
9. ALM-1紅色燈亮時表示溫度過熱(溫度會自動降溫)。
10. ALM-2紅色燈亮時表示溫度過低(溫度會自動加溫)。
11. 溫度范圍:40℃~210℃。
公安機關(guān)備案號：
