四探針電阻率測試儀 HR/KDY-1A
產(chǎn)品簡介
四探針電阻率測試儀 符合半導(dǎo)體材料電阻率的國際及國家標準測試方法。 測量厚度大于4倍探針間距的硅晶體,也可測量薄硅片電阻率及方阻。
產(chǎn)品詳細信息
四探針電阻率測試儀產(chǎn)品簡介 |
1、符合半導(dǎo)體材料電阻率的國際及國家標準測試方法。
2、測量厚度大于4倍探針間距的硅晶體,也可測量薄硅片電阻率及方阻。
3、電阻率測量范圍復(fù)蓋*常用的區(qū)段:0.01—199.9Ω·cm。(可添加電阻率小于0.5Ω·cm的報警功能)
方塊電阻測量范圍復(fù)蓋*常用的區(qū)段:0.1—1999Ω/□。(可添加方塊電阻小于5Ω/□的報警功能)
4、配置高精度恒流源,測量電流穩(wěn)定,分兩檔:1mA、10mA,每檔均可在大范圍內(nèi)調(diào)節(jié)(1mA:0.1—1mA;10mA:1mA—10mA)。
5、測量精度高:電器測量精度優(yōu)于0.3%;
整機測量誤差:測量1-100Ω·cm的標準硅片誤差≤±3%。
測量大于100Ω·cm和小于1Ω·cm的標準硅片誤差≤±5%。
6、重量輕,約2.5kg;體積小:240×210×100(mm)。
7、可配用多種探針間距的四探針頭:1.00mm、1.59mm。
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