該PECVD系統爐在傳統PECVD系統基礎上實現了快速加熱、冷卻功能，該爐底部安裝了一對滑軌，可手動滑動。采用雙層殼體結構。該爐安裝有行程開關，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的**。加熱和冷卻速率*大可達100°C/min。為取得*快加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得*快冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/S，是低成本快速熱處理的理想爐。

PECVD系統爐技術參數： 

1.溫控方式：智能化30段可編程控制            2.*高溫度：1200℃                 3.電壓：220V 

4.額定溫度：1150℃                           5.熱電偶：K型                      6.加熱段長：400mm

7.加熱元件：瑞典Kanthal-A1電阻絲                                

8.升溫速率：≤20℃/min   推薦升溫速率：≤10℃/min       

9.真空法蘭和接頭：詳細參數請轉看第31頁  

10.質量流量計：詳細參數請轉看第31頁   

11.射頻電源：詳細參數請轉看第31頁