Ultrapure-50超純水在線顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)系統(tǒng) Ultrapure 在線顆粒計(jì)數(shù)器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Ultrapure-50超純水在線顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)系統(tǒng)提供了對(duì)于0.05和0.1μm的超純水(UPW)監(jiān)測(cè)的整合方案。 Ultrapure-50超純水在線顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)系統(tǒng)把牢固的光學(xué)結(jié)構(gòu),計(jì)數(shù)及通訊電路和獨(dú)特的流量控制系統(tǒng)整合在一臺(tái)儀器中,提供超群的性能。
產(chǎn)品詳細(xì)信息
超純水顆粒監(jiān)測(cè)系統(tǒng) / 去離子水監(jiān)測(cè)顆粒計(jì)數(shù)器 / 精密清洗液潔凈檢測(cè)系統(tǒng) / 0.05微米微粒監(jiān)控儀
Ultrapure-50 超純水在線顆粒計(jì)數(shù)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
一, 產(chǎn)品特點(diǎn)
去離子水廠監(jiān)測(cè)水平更進(jìn)一步——Ultrapure-50超純水在線顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)系統(tǒng)以可承受的價(jià)格提供非常低的顆粒濃度下小顆粒測(cè)量
二, 產(chǎn)品性能:
0.05和0.1μm的標(biāo)準(zhǔn)顆粒尺寸
4-20mA模擬輸出
高流速——極快的清潔時(shí)間
一體化設(shè)計(jì)——低維護(hù)量
出眾的流量設(shè)置——“設(shè)置完了就可以不管”
激光能量診斷
有顆粒計(jì)數(shù)軟件
校正完全可追溯NIST標(biāo)準(zhǔn)
三, 產(chǎn)品介紹:
顆粒監(jiān)測(cè),特別是超純水(UPW)監(jiān)測(cè),仍然是半導(dǎo)體制造行業(yè)的一個(gè)主要門檻。設(shè)備設(shè)計(jì)規(guī)則的提高要求不斷降低制程流體中的顆粒水平。因此,制造過程中需要測(cè)試的不僅是小顆粒尺寸而且是非常低濃度下的小顆粒。
在可承受的價(jià)格下降低了錯(cuò)誤計(jì)數(shù)率,Anatel的Ultrapure-50超純水在線顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)系統(tǒng)提供了對(duì)于0.05和0.1μm的超純水(UPW)監(jiān)測(cè)的整合方案。無(wú)論您的應(yīng)用包括在制程中使用處(POU)的查錯(cuò),或是僅在廠務(wù)超純水廠中重要位置的監(jiān)測(cè),Ultrapure-50 在*低顆粒濃度檢測(cè)時(shí)表現(xiàn)出色。
Ultrapure-50超純水在線顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)系統(tǒng)把牢固的光學(xué)結(jié)構(gòu),計(jì)數(shù)及通訊電路和獨(dú)特的流量控制系統(tǒng)整合在一臺(tái)儀器中,提供超群的性能。在高壓力應(yīng)用中,比如去離子水廠的監(jiān)測(cè),全套系統(tǒng)流速可以超過1.0L/min。Ultrapure-50因?yàn)橛袠O好的流量控制和動(dòng)態(tài)的入口壓力調(diào)節(jié)具備極快的清潔和恢復(fù)時(shí)間。
Ultrapure-50超純水在線顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是一套完整的系統(tǒng),非常容易安裝并集成到您現(xiàn)有的廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)(FMS)或樓宇管理系統(tǒng)(BMS)中。Ultrapure-50超純水在線顆粒計(jì)數(shù)器監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可以被當(dāng)作單臺(tái)儀器使用并與許多軟件包兼容。
顆粒計(jì)數(shù)經(jīng)常和總有機(jī)碳含量(TOC)測(cè)量相互補(bǔ)充,Anatel是半導(dǎo)體和平板顯示行業(yè)的TOC監(jiān)測(cè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。Anatel的TOC分析系統(tǒng)是可以被組合在任何水系統(tǒng)中的一系列模塊化的組件?,F(xiàn)在,因?yàn)榧由狭祟w粒計(jì)數(shù),Anatel使儀器功能更進(jìn)一步,確保在您的高純水(UPW)管路系統(tǒng)中提高效率和良品率。
四, 技術(shù)參數(shù)
粒徑通道:0.05, 0.1 微米
系統(tǒng)流速:>1升/分鐘
樣品流速:10毫升/分鐘(樣品入口壓力調(diào)整到30-100psi)
光源:激光二極管830nm
樣品入口壓力:不超過100psig(690kpa)不低于7.0 psig
操作溫度:15~30℃
樣品溫度: 15~30℃
物理指標(biāo)
電源:100-250VAC,50/60Hz
功耗:不大于90VA(100V時(shí)0.8A)
I/O接口:模擬光電隔離4-20mA輸出(標(biāo)準(zhǔn)2通道)
RS-232 設(shè)置時(shí)用的串行口
電氣I/O連接在儀器底部,帶有保護(hù)蓋
顯示: 2通道數(shù)據(jù)
指示燈: 電源,激光情況,泄漏情況
液體連接:SS1/4’’ Swagelok(樣品入口和出口)
外置流量計(jì)
外殼: 涂漆鋁殼
尺寸: 305mm(L) x 203mm(W) x 190.5mm(H)
相對(duì)濕度:不超過90%,不凝露
包含附件
包括:電源裝置,1/4’尼龍樣品和排放管,電源線,操作員手冊(cè)
- 新加產(chǎn)品 | 公司介紹
- 會(huì)員等級(jí): 免費(fèi)會(huì)員
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