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半導(dǎo)體特氣檢漏儀 703

產(chǎn)品價格： < 面議
產(chǎn)品型號：703
品 牌：
公司名稱：常州金壇泰納儀器廠
所 在 地：江蘇金壇
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產(chǎn)品簡介

ABC

產(chǎn)品詳細(xì)信息

型號：XP-703D 

  （自動吸引式） 

  半導(dǎo)體特氣檢漏儀  

特點：

    ¬       *適合于檢測半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。

    ¬       采用聲光報警。

  規(guī)格

型       號

XP-703D

檢測對象氣體

半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理

**型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度

（單位：ppm）

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氫氣

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應(yīng)答速度

10秒以內(nèi)

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