BSD-1標準粒子發(fā)生裝置
氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正程序
一． 校正所需設備
1． 100級潔凈房或潔凈臺
2． 一臺用于作對比，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器，如Metone3400
3． 各粒徑的標準粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等
4． 標準粒子氣體產(chǎn)生器，如Model 255
5． 可產(chǎn)生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類似裝置
6． 其它普通電器，如220V電源插座，萬用表等等
二． 校正的基本原理
　　 標準粒子（如0.301um）通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體，并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試，并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nèi)，認為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器，一定要弄清楚其流速，取樣時間，取樣次數(shù)等參數(shù)，并且，還要明白怎樣理解其測試結果。
三. 校正的基本步驟：
　　 現(xiàn)假設對一臺常見的Metone227B作校正
1． 首先，要清楚Metone3413和Metone227B有何差別，其測試原理一樣，但Metone3413流速為1CFM（立方英尺/分鐘），而Metone227B則為0.1CFM。
2． 首先，請將潔凈臺開機，工作半小時，其間內(nèi)也打開Metone227B和Metone3413，讓其預熱半小時。
3． 準備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路。
4． 將配好的標準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴。
5． 設置Metone3413和Metone227B的基本參數(shù)
（1） 取樣時間都設置為00：01：00
（2） 取樣次數(shù)都設置03
（3） 取樣模式都設置為Auto
（4） 間隔時間都設置為00：00：05
（5） 讀數(shù)模式都設置為Cumulative
　　 注：以上設置相同，因其流速有10倍差，故Metone3413測試結果會是Metone227B的10倍。
6． 此時，打開255電源，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約60SCFH時后，保持其工作狀態(tài)。
7． 此時，讓Metone227B和Metone3413同時工作，看其三次的平均結果，若在20%以內(nèi)，視為合格。
8． 拆下脫原子瓶，重新滴入其它標準粒子，重復該測試。
9． 以上校正只是對比校正，尚可用萬用表對其基本參數(shù)測量，用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。